超精密加工のための熱変形推定システムの開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 情報技術部門, 研究員 )
研究概要：

6箇所の温度変化を0.001°Cの分解能で測定する技術を開発し、この測定装置により分析した結果、ナノメートル分解能の加工機では加工機各部の1°C程度の僅かな温度変化が加工精度に直接影響することが判明した。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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