研課題
J-GLOBAL ID:202104021324220943  研究課題コード:17938885

高空間分解能SiC・GaNウェハ結晶品質評価装置の開発

体系的課題番号:JPMJTM17B7
実施期間:2017 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学(系)研究科(研究院), 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM17B7
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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