研課題
J-GLOBAL ID：202104021352427626
研究課題コード：10102681
発熱ナノカプセル粒子の鋳込成型体を用いた瞬間接着技術の創成
体系的課題番号：JPMJPR10H9
実施期間：2010 - 2013
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 大学院工学研究科, 准教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJPR10H9
研究概要：
本研究では、ナノ粒子生成のボトムアップ手法とMEMSプロセスのトップダウン手法とを融合させ、1秒未満で700°C相当の熱量を瞬間発生可能な発熱素材を創製し、これを熱源としたSiウェハの瞬間はんだ接着法の確立を目指します。Alナノ粒子にNiをナノコートしたAlNiナノカプセルを素材とし、本接着法により、ほぼ0Wのエネルギーでウェハを接着でき、低エネルギー・低コストな“エコ接着技術”としてCO2削減に貢献します。
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ナノシステムと機能創発
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