研究者

J-GLOBAL ID：202201017295121409 更新日: 2026年01月20日

宮本直樹

ミヤモトナオキ | MIYAMOTO Naoki

所属機関・部署：
職名：主任

研究分野 (5件)：量子ビーム科学 , 核融合学 , 半導体、光物性、原子物理 , 半導体、光物性、原子物理 , ナノマイクロシステム

研究キーワード (3件)：イオン注入 , 半導体プロセス , プラズマ物理

競争的資金等の研究課題 (1件)：

2015 - 2017 農業応用を目指した全大気圧イオン照射システム

論文 (66件)：

N. Miyamoto, R. Nakagawa, T. Nagayama, N. Hamamoto. Molecular ion beam current enhancement by noble gas-mixed discharge. MRS Advances. 2025
M Wada, H Aki, N Miyamoto. Duoplasmatron type molecular carbon ion source. Journal of Physics: Conference Series. 2022. 2244. 1. 012095-012095
M. Ishikawa, K. Oura, N. Miyamoto, M. Wada. Plasma electrode structure suitable for H^- extraction from Bernas type ion source. AIP Conference Proceedings. 2018. 2052
Yuta Imamura, Naoki Miyamoto, Toshiro Kasuya, Motoi Wada. Development of a carbon cluster ion source with a hollow cathode. AIP Conference Proceedings. 2018. 2011
Ryota Wada, Takahiro Higuchi, Naoki Miyamoto, Tsutomu Nagayama, Takashi Kuroi, Tadashi Ikejiri, Hideaki Tanimura, Takayuki Aoyama, Shinichi Kato, Ippei Kobayashi. Profile Control of Donor Ions by Sn Co-implantation in Germanium. Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology. 2018. 2018-September. 311-314

もっと見る

MISC (30件)：

もっと見る

特許 (34件)：

もっと見る

学歴 (2件)：

2008 - 2010 同志社大学大学院博士後期課程理工学研究科電気電子工学専攻
1985 - 1991 同志社大学工学部電気工学科

所属学会 (1件)：

American Institute of Physics

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る

TOP

BOTTOM