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J-GLOBAL ID：202202210786736305   整理番号：22A0152089

プラズマ増強原子層蒸着と低温アニーリングにより作製した高移動度p型Li_xCu_yO膜【JST・京大機械翻訳】

High-mobility p-type Li_xCu_yO films prepared by plasma-enhanced atomic layer deposition and low-temperature annealing

著者 (9件)： Hsu Chia-Hsun (School of Opto-electronic and Communication Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen, China) ,  Bao Chun-Hui (School of Opto-electronic and Communication Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen, China) ,  Zhao Ming-Jie (School of Opto-electronic and Communication Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen, China) ,  Wu Wan-Yu (Department of Materials Science and Engineering, Da-Yeh University, Changhua, Taiwan) ,  Lien Shui-Yang (School of Opto-electronic and Communication Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen, China) ,  Lien Shui-Yang (Department of Materials Science and Engineering, Da-Yeh University, Changhua, Taiwan) ,  Lien Shui-Yang (Fujian Key Laboratory of Optoelectronic Technology and Devices, Xiamen University of Technology, Xiamen, China) ,  Zhu Wen-Zhang (School of Opto-electronic and Communication Engineering, Xiamen University of Technology, Xiamen, China) ,  Zhu Wen-Zhang (Fujian Key Laboratory of Optoelectronic Technology and Devices, Xiamen University of Technology, Xiamen, China)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 308  号： PB  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高移動度,p型Li_xCu_yO膜を共添加プラズマ増強原子層堆積により作製した。X線回折パターンは,CuOとCu_2O相に加えて,生成したLiCu_3O_3が高移動度の原因であることを示した。350°CアニールLi_xCu_yO膜は,中間長波長で85%の透過率と2.4eVのバンドギャップを持つ。88cm2V-1s-1の正孔移動度に達し,通常のp型金属酸化物のものより著しく高い。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  *焼なまし ,  *低温 ,  薄膜 ,  金属酸化物 ,  波長 ,  透過率 ,  酸化第二銅 ,  バンドギャップ
準シソーラス用語： 共ドーピング ,  正孔移動度 ,  *高移動度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 薄膜 ,  エレクトロセラミック ,  光学材料と特性

分類 (2件)： 二次電池  (YB04030K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  増強 ,  原子層蒸着 ,  低温 ,  アニーリング ,  作製 ,  高移動度