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J-GLOBAL ID：202202211390051052   整理番号：22A0311093

MgOナノ結晶介在物を有するエアロゾル噴霧堆積ウルツ鉱型ZnMgO合金膜【JST・京大機械翻訳】

Aerosol Spray Deposited Wurtzite ZnMgO Alloy Films with MgO Nanocrystalline Inclusions

著者 (5件)： Morari Vadim (D. Ghitu Institute of Electronic Engineering and Nanotechnologies, Chisinau, Republic of Moldova) ,  Rusu E. V. (D. Ghitu Institute of Electronic Engineering and Nanotechnologies, Chisinau, Republic of Moldova) ,  Ursaki V. V. (National Center for Materials Study and Testing, Technical University of Moldova, Chisinau, Republic of Moldova) ,  Nielsch K. (Leibniz Institute for Solid State and Materials Research (IFW Dresden), Institute for Metallic Materials (IMW), Dresden, Germany) ,  Tiginyanu I. M. (National Center for Materials Study and Testing, Technical University of Moldova, Chisinau, Republic of Moldova)
資料名： IFMBE Proceedings  (IFMBE Proceedings)
巻： 87  ページ： 32-39  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5069A  ISSN： 1680-0737  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,組成範囲x=0.00~0.80のZn_1-xMg_xO薄膜を,前駆体として酢酸亜鉛と酢酸マグネシウムを用いて,p-Si基板上にエアロゾルスプレー堆積法によって得た。製造した薄膜を,走査電子顕微鏡(SEM),エネルギー分散X線(EDX)分析,X線回折(XRD)および光学分光法によって特性化した。SEM画像は膜の均一なナノ結晶形態を明らかにしたが,ナノ結晶の形はMg含有量の変化とともに変化した。XRD分析は,生成した膜が全化学組成範囲でウルツ鉱型Zn_1-xMg_xO相を含み,立方晶相MgOナノ結晶介在物が平均粒径約20nmであることを示した。光学バンドギャップは,Mg含有量が0から60%まで増加すると,3.4eVから5.2eVまで変化することが分かった。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Switzerland AG 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *エアロゾル ,  化学組成 ,  *合金 ,  走査電子顕微鏡 ,  薄膜 ,  *マグネシウム ,  *酸化マグネシウム ,  スペクトロスコピー ,  立方晶系 ,  前駆体 ,  *介在物 ,  *ナノ結晶
準シソーラス用語： *ウルツ鉱 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： Zn_1-xMg_xO_xO ,  薄膜 ,  SEM ,  X線回折 ,  バンドギャップ

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛

タイトルに関連する用語 (8件)： MgO ,  ナノ結晶 ,  介在物 ,  エアロゾル ,  噴霧 ,  堆積 ,  ウルツ鉱 ,  金膜