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J-GLOBAL ID：202202211759164947   整理番号：22A0727603

レーザ誘起酸化を用いて作製した銅系フレキシブル光検出器のチャネルスケーリング依存光応答【JST・京大機械翻訳】

Channel Scaling Dependent Photoresponse of Copper-Based Flexible Photodetectors Fabricated Using Laser-Induced Oxidation

著者 (9件)： Kim Junil (Department of Information and Communication Engineering, DGIST, South Korea) ,  Ko Kyungmin (Department of Materials Science and Engineering, UNIST, South Korea) ,  Kwon Hyeokjin (Department of Information and Communication Engineering, DGIST, South Korea) ,  Kwon Hyeokjin (Convergence Research Advanced Centre for Olfaction, DGIST, South Korea) ,  Suh Joonki (Department of Materials Science and Engineering, UNIST, South Korea) ,  Suh Joonki (Graduate School of Semiconductor Materials and Devices Engineering, UNIST, South Korea) ,  Kwon Hyuk-Jun (Department of Information and Communication Engineering, DGIST, South Korea) ,  Kwon Hyuk-Jun (Convergence Research Advanced Centre for Olfaction, DGIST, South Korea) ,  Yoo Jae-Hyuck (Physical and Life Sciences and NIF and Photon Sciences, Lawrence Livermore National Laboratory, California, United States)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 14  号： 5  ページ： 6977-6984  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 第二銅(CuO)と第一銅(Cu_2O)酸化物を含む銅(Cu)酸化物化合物(Cu_xO)は,有用な光起電力特性と優れた熱伝導率を有する有望なpチャネル材料として認識されてきた。典型的には,Cu_xOを得るために,堆積法あるいは熱酸化を用いることができる。しかし,これらのプロセスは,プラスチックが比較的低いガラス転移温度を有するため,柔軟な基板に適用するのが難しい。また,追加のパターニング段階が応用の製作に必要である。本研究では,周囲条件下で薄いCu膜のレーザ誘起酸化を用いて金属-半導体-金属光検出器を作製した。Raman分光法,走査電子顕微鏡-エネルギー分散X線分光法および原子間力顕微鏡を用いて,本デバイスの組成と形態を調べた。さらに,このデバイスの光応答を報告した。走査光電流顕微鏡を用いて,チャネルサイズとキャリア数の間の関係を詳細に解析した。キャリア輸送挙動を同定した。光電流はチャネルの長さと幅が増加するにつれて減少した。さらに,様々な曲げ試験を用いて,フレキシブル光検出器としてのデバイスの適合性を検証した。このCuベースフレキシブル光検出器の著者らの詳細な解析は,他のフレキシブル光起電力応用の機構を理解する上で重要な役割を果たす。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *応答 ,  光起電力 ,  光電流 ,  *酸化 ,  走査電子顕微鏡 ,  熱伝導率 ,  半導体 ,  *光検出器 ,  プラスチック ,  *銅 ,  ガラス転移点 ,  Raman分光法 ,  パターン形成
準シソーラス用語： *レーザ誘起 ,  *光応答 ,  キャリア輸送 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： レーザ誘起酸化 ,  酸化銅 ,  光検出器 ,  走査型光電流顕微鏡法 ,  チャネルスケーリング ,  フレキシブルエレクトロニクス

分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザ誘起 ,  酸化 ,  作製 ,  銅 ,  光検出器 ,  チャネル ,  スケーリング ,  光応答