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J-GLOBAL ID：202202212301159577   整理番号：22A0730640

高光学密度のアクリル板のNd:YAGレーザ穴あけに及ぼすレーザプラズマの効果【JST・京大機械翻訳】

Effect of laser plasma on Nd:YAG laser drilling of acrylic plate with high optical density

著者 (2件)： Wu Lung-Fa (Graduate Institute of Automation and Control, National Taiwan University of Science and Technology, Taiwan) ,  Tsai Ming-Jong (Graduate Institute of Automation and Control, National Taiwan University of Science and Technology, Taiwan)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 149  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ材料加工(LMP)を用いて,材料切削,薄板ドリル加工,および表面処理などの従来の材料加工技術を置き換えた。高エネルギーレーザを材料上に投影すると,材料の温度は急速に増加し,材料の特性を変化させ,表面蒸発と剥離を即座に剥離する。本研究では,1064nmレーザの波長,6mmのビーム直径,および10繰返し速度(Hz)の波長を有するQuantelブリリアントネオジムドープイットリウムアルミニウムガーネット(Nd:YAG)を用いたレーザシステムを開発し,F-θレンズを用いて,直径0.2mmの集束レーザビームを得た。開発したシステムを,高光学密度および7+安全窓を有する3mm厚さの光学グレードアクリルポリメタクリル酸メチル(PMMA)板におけるドリル穴に使用した。レーザー安全,フラットウインドウ,可視光透過(VLT)試料を用い,ドリル加工材をPMMA板とした。レーザビームはF-θレンズの中心に集中しなければならず,F-θレンズと線形段階間の距離で整列しなければならない。作業距離は300mmに設定した。さらに,レーザプラズマ効果を得るために直径を調整した。すなわち,作業距離を固定した。最初に,レーザプラズマの特性および光学グレードアクリル(PMMA)板試料を透過するレーザの能力を研究した。垂直軸のリフティング位置を変化させ,アクリル(PMMA)板の作動距離を変えて,レーザビームをアクリル(PMMA)板上の異なる位置でターゲットとした。ドリル加工プロセスの最適パラメータを決定するために,174.7mJ/パルス(5分で3000パルス)のパルスレーザー出力を穴に絞った。結果は,エネルギーが522.98J/cm2であることを示した。141.26~275.93J/cm2のレーザエネルギー密度は許容できる熱影響部をもたらした。Nd:YAGパルスレーザは,作製した空洞ギャップのため,正孔直径を最大50%増加させることができるレーザプラズマを生成できる。種々の出口と入口穴形状が達成でき,レーザビーム切断のような異なる用途のために採用される。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 蒸発 ,  表面処理 ,  *レーザプラズマ ,  レンズ ,  ドリル ,  ポリメタクリル酸メチル ,  波長 ,  レーザビーム ,  パルスレーザ ,  可視光 ,  エネルギー密度 ,  パルス ,  レーザ切断 ,  *レーザ穴あけ ,  ドリル加工

著者キーワード (10件)： アクリルPMMA ,  空洞ギャップ ,  発散角 ,  熱影響部(HAZ) ,  レーザ加工(LBM) ,  レーザビームマイクロマシニング(LBMM) ,  レーザ掘削 ,  レーザ材料加工(LMP) ,  レーザプラズマ ,  ネオジムドープイットリウムアルミニウムガーネット(Nd:YAG)レーザ

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学密度 ,  アクリル板 ,  Nd ,  YAG ,  レーザ穴あけ ,  レーザプラズマ