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J-GLOBAL ID：202202212688443243   整理番号：22A1157479

中空陰極内の非自己持続グロー放電において生成されるプラズマのパラメータ分布に対する放電燃焼条件の影響【JST・京大機械翻訳】

Influence of the Discharge Burning Conditions on Distributions of the Parameters of Plasma Generated in a Non-Self-Sustaining Glow Discharge Inside a Hollow Cathode

著者 (5件)： Ignatov D. Yu. (Institute of High Current Electronics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia) ,  Kovalsky S. S. (Institute of High Current Electronics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia) ,  Denisov V. V. (Institute of High Current Electronics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia) ,  Lopatin I. V. (Institute of High Current Electronics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia) ,  Koval N. N. (Institute of High Current Electronics of the Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences, Tomsk, Russia)
資料名： Russian Physics Journal  (Russian Physics Journal)
巻： 64  号： 11  ページ： 2170-2176  発行年： 2022年 
JST資料番号： A1030A  ISSN： 1064-8887  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属中空カソード300mm長さと内径25mm内に生成した非自己持続グロー放電のプラズマのパラメータを調べた。このシステムの特徴は,プラズマ源によって形成した補助放電プラズマからの電子の付加的注入であり,PINK加熱と中空カソードを組み合わせたものである。非自己持続グロー放電の依存性と燃焼モードを示し,圧力(0.06~1.4)Paと燃焼電圧(700~300)Vで記述した。二重Langmuirプローブを用いたプラズマパラメータの研究は,この放電システムが,±12から±63%までの不均一性を有する中空カソード内の窒素プラズマの生成を提供することを示した。Copyright Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Langmuir探針 ,  アーク放電 ,  *グロー放電 ,  高温 ,  *プラズマ ,  電圧 ,  *放電 ,  *ホロー陰極 ,  低圧 ,  プラズマ源 ,  プラズマパラメータ ,  *パラメータ ,  カソード
準シソーラス用語： 放電プラズマ ,  窒素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： グロー放電 ,  中空陰極 ,  高温およびホロー陰極アーク放電 ,  低圧放電 ,  二重プローブ ,  プラズマパラメータ

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 中空陰極 ,  グロー放電 ,  プラズマ ,  パラメータ ,  分布 ,  放電 ,  燃焼