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J-GLOBAL ID：202202213074967080   整理番号：22A0909483

AlSc合金ターゲットの作製と性能【JST・京大機械翻訳】

Preparation and performance of AlSc alloy targets

著者 (4件)： Ding Zhaochong (GRIKIN Advanced Material Co., Ltd, Beijing, China) ,  Cao Xiaomeng (GRIKIN Advanced Material Co., Ltd, Beijing, China) ,  Jia Qian (GRIKIN Advanced Material Co., Ltd, Beijing, China) ,  Zhang Xiaona (GRIKIN Advanced Material Co., Ltd, Beijing, China)
資料名： AIP Conference Proceedings  (AIP Conference Proceedings)
巻： 2474  号： 1  ページ： 020029-020029-7  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0071C  ISSN： 0094-243X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反応性スパッタリングにより,AlSc合金ターゲットを用いて,次世代(例えば5G)RFフィルタ,MEMSマイクロホン,PMUTベース指紋センサなどのための圧電材料であるAlScN膜を作製した。Sc含有量,ターゲット調製タイプ,純度および酸素濃度のようなターゲット特性はAlScN膜の性能に重要な影響を与える。そして,AlSc合金ターゲットの調製と性能を,この論文で論じる。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *ターゲット ,  濃度 ,  フィルタ ,  マイクロホン ,  特性 ,  *スカンジウム ,  圧電材料 ,  純度 ,  センサ ,  反応性スパッタリング ,  MEMS
準シソーラス用語： 酸素濃度 ,  指紋センサ ,  第5世代移動通信システム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (2件)： ターゲット ,  作製