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J-GLOBAL ID：202202213458776498   整理番号：22A0433652

大気圧プラズマジェットによるHazy GaドープZnO電極の容易な調製【JST・京大機械翻訳】

Facile preparation of hazy Ga-doped ZnO electrodes by atmospheric pressure plasma jet

著者 (2件)： Hsu Ping-Chia (Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan) ,  Juang Jia-Yang (Department of Mechanical Engineering, National Taiwan University, Taipei 10617, Taiwan)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 580  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 太陽電池の前面電極の光電子特性を損なうことなく光路長を増加させると,電力変換効率の向上が期待できる。これは,高い透過率(T_t)と低いシート抵抗(R_s)を保持しながら,テクスチャリングを通して電極の煙霧(H)を増加させることによって達成できる。しかし,それらが相互に影響を受けるので,これらの特性を同時にバランスさせることは難しい。ここでは,高H(>25%),高T_t(可視領域で>90%,ガラスに参照),および大気圧プラズマジェットを用いて低いR_s(6.62Ωsq-1)を有するガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)を調製する簡易,低コスト,および単一ラン法を示した。。また,大気圧プラズマジェットを用いて,低いR_s(6.62Ωsq-1)を示した,というのは,著者らは,高H(>25%),高T_t(>90%),および低R_s(6.62Ωsq-1)である。最初に,ノズル-基板距離または作動距離(WD)を増加させ,煙霧強化(HE)層として薄い粗いGZOを堆積し,同じ装置を用いて標準GZO層を直ちに堆積した。WDと走査ピッチを用いてHE層の粗さを調整することにより,6.3×10-2Ω-1(ガラスに対して参照)と2.1×10-2Ω-1(オーバーオール)とH=25%の競合性能指数を持つ高品質ザイモGZOを成功裏に製造できた。また,従来手法とは異なり,著者らの手法は,真空,エッチング,追加材料,あるいは機械/工具の変更を必要とせず,操作の複雑さを大幅に削減できる。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  ガラス ,  太陽電池 ,  *酸化亜鉛 ,  テキスチャード加工 ,  *ドーピング ,  透過率 ,  シート抵抗 ,  光電子
準シソーラス用語： 可視領域 ,  光路長 ,  高品質 ,  電力変換効率 ,  GZO【酸化物】 ,  *大気圧プラズマジェット , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO) ,  大気圧プラズマジェット(APPJ) ,  光散乱 ,  太陽光発電 ,  Hazy電極

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  プラズマ応用  (BJ02110K) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧プラズマジェット ,  Ga ,  ドープ ,  ZnO ,  調製