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J-GLOBAL ID：202202213520211317   整理番号：22A0901675

モノリシック集積MEMSベクトルハイドロホンマイクロアレイの設計と解析【JST・京大機械翻訳】

Design and analysis of monolithic integrated MEMS vector hydrophone micro-array

著者 (4件)： Shang Zhenzhen (Department of Intelligence and Automation, Taiyuan University, Taiyuan 030032, China) ,  Zhang Guojun (State Key Laboratory of Dynamic Testing Technology, North University of China, Taiyuan 030051, China) ,  Zhang Wendong (State Key Laboratory of Dynamic Testing Technology, North University of China, Taiyuan 030051, China) ,  Zhang Xiaoyong (Department of Intelligence and Automation, Taiyuan University, Taiyuan 030032, China)
資料名： Measurement  (Measurement)
巻： 192  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0315B  ISSN： 0263-2241  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMSベクトルハイドロホンの高感度と小型化の利点に基づいて,多重センサユニットから成るモノリシック統合マイクロアレイベクトルハイドロホンを提案し設計した。理論モデルは,マイクロアレイが構造感度と出力信号対ノイズ比を改善し,ポートとスターボード曖昧さの問題を除去できることを示した。一方,マイクロアレイ構造は従来のベクトルアレイの設置誤差を明らかに減らし,方向精度を改善する。用例として5要素マイクロアレイを取り上げて,湿潤モードにおける共振周波数は,試験周波数帯の要求を満たす956Hzに達する。理論的および計算解析を通して,マイクロアレイの感度は14dB増加し,SNRは単一ベクトルハイドロホンのそれと比較して3.1dB増加した。定在波管実験は,ベクトルマイクロアレイの方向性効果を検証した。ベクトルハイドロホンマイクロアレイの研究は,水中音響工学の応用に役立つ。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： SN比 ,  水中音響 ,  *ベクトル ,  湿潤 ,  小型化 ,  *ハイドロホン ,  利得 ,  ポート ,  共振周波数 ,  周波数帯 ,  曖昧さ ,  *MEMS
準シソーラス用語： 理論モデル ,  *モノリシック集積化 ,  *マイクロアレイ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMSベクトルハイドロホン ,  マイクロアレイ ,  ポートとスターボードの曖昧さ ,  感度利得 ,  信号対雑音比

分類 (5件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  通信方式一般  (ND07010E) ,  梁,桁  (HD03020H) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： モノリシック集積 ,  MEMS ,  設計 ,  解析