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J-GLOBAL ID：202202213528918059   整理番号：22A1034594

3成分マイクロ力センサ/キャリブレーション装置の開発【JST・京大機械翻訳】

Development of a Three-Component Micro Force Sensor/Calibration Device

著者 (2件)： Jin W. L. (QPS Technology Inc.) ,  Mote C. D. Jr. (University of California)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE98  ページ： 11-17  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サブミクロン3成分力センサをシリコン微細加工技術を用いて開発した。300μm,300μmのポリシリコンクロスビームを,その上に集積した12のピエゾ抵抗歪ゲージで,センサの弾性要素である。歪ゲージによって検出される歪は,クロスビームの中心に加えられた力の3つの直交成分の測定である。センサの較正は,センサ構造上に懸濁したアルミニウム交差ビームに電磁力を発生させることにより達成される。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 懸濁液 ,  歪計 ,  ケイ素 ,  弾性 ,  電磁力 ,  センサ ,  微細加工 ,  直交性 ,  *ポリシリコン
準シソーラス用語： 圧電抵抗 ,  力センサ ,  微細加工技術 ,  交差ビーム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 力センサ ,  キャリブレーション ,  開発