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J-GLOBAL ID:202202213882889055   整理番号:22A0780542

ホットスポット冷却のためのエレクトロウェッティング効果下の湿潤性媒介微小液滴【JST・京大機械翻訳】

A Wettability-Mediated Microdroplet Under Electrowetting Effect for Hotspot Cooling
著者 (4件):
資料名:
巻: 12  号:ページ: 288-296  発行年: 2022年 
JST資料番号: W0590B  ISSN: 2156-3950  CODEN: ITCPC8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究は,オンチップホットスポット冷却用途のためのエレクトロウェッティング(EW)駆動マイクロ液滴の実験的研究を報告する。4-μl体積の脱イオン水(DI)の離散ミクロ液滴を単一プレートEWデバイスで電極アレイ上に輸送した。二相熱放散過程中の液滴の瞬間的形状とその濡れ挙動を,異なる操作条件に対して解析した。従来のEWデバイスでは,微小液滴による疎水性ホットスポットの冷却は,低い接触線ピン止めを伴う蒸発を示し,液滴はホットスポットから離れて,デバイスの性能を低下させる。本研究では,EWデバイスの熱放散能力を改善するために,陽極酸化技術を用いて超親水性表面を導入した。液滴は最終的に親水性ホットスポットを湿らし,低い熱抵抗で比較的大きい表面積を維持し,熱放散能力を強化した。超親水性ホットスポット上の冷却材液滴の熱伝達効率の最大210.7%の増強が疎水性表面に比べて観測された。さらに,連続液滴供給を親水性表面に適用し,液滴の急速蒸発に取り組んだ。2つの連続液滴の合体はホットスポットに余分な冷却効果を生じた。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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