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J-GLOBAL ID：202202214040640164   整理番号：22A0788445

パリレン膜とシリコーン油を用いた針型圧力センサ【JST・京大機械翻訳】

Needle Type Pressure Sensor with Parylene Membrane and Silicone Oil Inside

著者 (2件)： Kishimoto Takuto (Keio University,JAPAN) ,  Takahashi Hidetoshi (Keio University,JAPAN)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022  号： MEMS  ページ： 668-671  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は人体内部の圧力を測定する圧力センサを提示する。医療分野では,多くの圧力センサが治療応用のために開発されている。しかし,これらの圧力センサーは,測定が身体的負担をかけるように,外科的操作を介して患者の内部に置くための全センサ体を必要とする。ここでは,ビルトインピエゾ抵抗カンチレバーを有するニードル型圧力センサを提案した。提案したセンサはチップ上に薄い膜を有するニードル部分を持ち,内部で非圧縮性液体で満たされた。針部分をターゲットに単純に挿入することにより,最小侵襲性で体液圧を測定することができる。ビルトインピエゾ抵抗カンチレバーの抵抗は,針先端に適用される圧力変化に従って変化した。作製したセンサが擬似体圧に応答するので,作製したニードル型圧力センサは体内の圧力変化を検出できることが示唆された。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 薄膜 ,  片持梁 ,  *シリコーン油 ,  圧力変動 ,  センサ ,  非圧縮性 ,  圧力センサ
準シソーラス用語： *Parylene ,  圧電抵抗 ,  体圧 ,  侵襲性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： パリレン ,  シリコーン油 ,  針 ,  圧力センサ