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J-GLOBAL ID：202202214096078767   整理番号：22A0497574

ZnOナノ構造薄膜に及ぼすジルコニウムドーピングの影響とアンモニアガスセンシング活性の増強【JST・京大機械翻訳】

Effect of zirconium doping on ZnO nanostructured thin films and the enhanced ammonia gas sensing activity

著者 (6件)： Sathya M. (PG and Research Department of Physics, Thanthai Hans Roever College (Autonomous), Perambalur, India) ,  Selvan G. (PG and Research Department of Physics, Thanthai Hans Roever College (Autonomous), Perambalur, India) ,  Kasirajan K. (Thin Film and Nanoscience Research Lab, PG and Research Department of Physics, Alagappa Government Arts College, Karaikudi, India) ,  Usha S. (Thin Film and Nanoscience Research Lab, PG and Research Department of Physics, Alagappa Government Arts College, Karaikudi, India) ,  Baskaran P. (Department of Physics, Government Arts and Science College, Perambalur, India) ,  Karunakaran M. (Thin Film and Nanoscience Research Lab, PG and Research Department of Physics, Alagappa Government Arts College, Karaikudi, India)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 33  号： 1  ページ： 443-457  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 優れた安定性と高い応答を有する室温ガスセンサは,多くの興味を得て,それらの大きな需要がある。したがって,NH_3同定は,生命節約,環境安全性,および医療用途にとって重要である。本研究では,ドーピング濃度を変えてガラス基板上にZnOとジルコニウムドープ酸化亜鉛(Zr:ZnO)薄膜を作製するために簡単でコスト効率の良いSILAR法を採用した。ZnOおよびZr:ZnO膜の形態,構造,光学およびガス検知特性を調べた。SEM,XRD,およびRamanの結果から,ZrがZnOの表面にうまく取り込まれることを確認した。UV-Visスペクトルは,膜がZr含有量の添加で可視領域で高度に透明であることを示唆する。さらに,Zr:ZnO薄膜の推定光学バンドギャップ値はZr取込と共に増加した。合成した膜のセンサ応答,感度及び安定性を試験した。純粋なZnOは,アンモニアに対して74秒と20秒の低い応答回復時間を有した。さらに,Zr:ZnOはアンモニア(3wt%)に対して48秒と6秒の速い応答回復時間を有した。室温で25ppmのNH_3ガスを感知するZr:ZnO膜は優れたガス応答と良好な安定性を有した。ZrドーピングはZnO膜のNH_3センシングを著しく改善することを示唆した。ターゲットガスに対するZr:ZnOベースセンサ感度のフレームワークも示唆した。Copyright The Author(s), under exclusive licence to Springer Science+Business Media, LLC, part of Springer Nature 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *薄膜 ,  *ジルコニウム ,  *アンモニア ,  *酸化亜鉛 ,  *ドーピング ,  センサ ,  ガスセンサ ,  *ナノ構造 ,  光学ギャップ
準シソーラス用語： 可視領域 ,  ガラス基板 ,  コスト効率 ,  紫外可視スペクトル ,  SILAR法 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： ZnO ,  ナノ構造 ,  薄膜 ,  ジルコニウム ,  ドーピング ,  活性 ,  増強