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J-GLOBAL ID：202202214142815176   整理番号：22A0975982

トリクロロシラン精製プロセスのための圧力スイング熱統合蒸留の設計と制御【JST・京大機械翻訳】

Design and Control of Pressure-Swing Heat Integration Distillation for the Trichlorosilane Purification Process

著者 (13件)： Yin Min (Innovation Academy for Green Manufacture, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Yin Min (School of Chemical and Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Yin Min (Key Laboratory of Green Process and Engineering, Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Hua Chao (Innovation Academy for Green Manufacture, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Hua Chao (Key Laboratory of Green Process and Engineering, Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Lu Ping (Innovation Academy for Green Manufacture, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Lu Ping (Key Laboratory of Green Process and Engineering, Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Zhang Haohao (Innovation Academy for Green Manufacture, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Zhang Haohao (School of Chemical and Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Zhang Haohao (Key Laboratory of Green Process and Engineering, Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Bai Fang (Innovation Academy for Green Manufacture, Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Bai Fang (School of Chemical and Engineering, University of Chinese Academy of Sciences, PR China) ,  Bai Fang (Key Laboratory of Green Process and Engineering, Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences, PR China)
資料名： ACS Omega  (ACS Omega)
巻： 7  号： 11  ページ： 9254-9266  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5044A  ISSN： 2470-1343  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トリクロロシラン(TCS)はポリシリコン製造プロセスにおいて重要な中間生成物であり,その精製はかなりの量のエネルギーを消費する。TCS熱統合圧力スイング蒸留(HIPSD)プロセスの設計と制御を,本研究ではAspen Plus V8.4とAspen動力学を用いて調べた。3つの部分プロセスおよび1つの完全なHIPSDプロセスを,操作条件を調整して,材料フローを合理的に構成することによって調査した。従来の蒸留プロセスと比較して,部分的および完全なHIPSDは,総年間コストをそれぞれ15.75および27.39%減らすことができた。前述のプロセスは,フィード(Q_R/F)フィードフォワード制御構造と供給に対するリサイクル比(F_REC/F)制御構造に対するリボイラ熱デューティの比を加えることによってロバストに制御された。さらに,供給流量と組成の±10%擾乱を導入することによって,制御構造の性能を評価した。制御構造の性能を比較するために,積分二乗誤差値を動的応答曲線と組み合わせた。完全なHIPSDスキームは,最良の経済的性能で,流れと組成の±10%の擾乱に抵抗できる。本研究は,ポリシリコン製造プロセスにおけるTCSの蒸留プロセスおよび制御戦略設計に対して,一定の参照意義を持つ。Copyright 2022 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 関税 ,  原価 ,  *蒸留 ,  動的応答 ,  反応中間体 ,  シミュレータプログラム ,  リボイラ ,  *PSA【吸着】 ,  生産工程 ,  ロバスト性 ,  *熱統合 ,  リサイクル ,  ポリシリコン
準シソーラス用語： 操作条件 ,  Aspen Plus ,  制御戦略 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 蒸留,蒸発  (XD02010F)

タイトルに関連する用語 (6件)： トリクロロシラン ,  精製プロセス ,  圧力スイング ,  熱統合 ,  蒸留 ,  設計