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J-GLOBAL ID：202202214205064859   整理番号：22A0418617

汎用マルチフィジックス解析ソフトによる低温プラズマシミュレーション

著者 (1件)： とん立柱 (計測エンジニアリングシステム)
資料名： 計算工学  (Journal of the Japan Society for Computational Engineering and Science)
巻： 27  号： 1  ページ： 4392-4397  発行年： 2022年01月31日 
JST資料番号： L5669A  ISSN： 1341-7622  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・電離度が低く,かつ熱的に非平衡な性質を持つ低温プラズマを利用した技術は,様々な産業に幅広く応用されているが,その振る舞いは複雑で解析は困難。
・本稿では,有限要素解析ソフトウエアCOMSOLによる低温プラズマのマルチフィジックス解析技術を提示。
・容量結合型プラズマの境界値問題の解法,マイクロ波プラズマにおけるマイクロ波のカットオフ現象に応じるAMR法,ボルツマン方程式と流体モデルの連成計算手法などの活用事例を紹介。
・低温プラズマシミュレーションは,半導体プラズマプロセス技術の進展に伴い1980年代から急速に発展し,現在では低温プラズマの特性を解明する手段として欠かすことのできない技術。

シソーラス用語： *計算機シミュレーション ,  *数値解析 ,  *化学反応 ,  *複合系 ,  *大気プラズマ ,  計算機コード ,  有限要素法 ,  境界値問題 ,  マイクロ波 ,  Boltzmann方程式
準シソーラス用語： マイクロ波プラズマ ,  マルチフィジックス ,  マルチフィジックスシミュレーション ,  解析ソフトウェア ,  大気圧低温プラズマ

分類 (4件)： 計算機シミュレーション  (JE11000H) ,  数値計算  (JE02000J) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

引用文献 (27件)：

• M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing, 2nd Edition, John Wiley & Sons, New York (2005).
• 佟立柱、 [展望講演] 有限要素法によるプラズマプロセスのモデリング技術、化学工学会第45回秋季大会、G213(2013).
• 佟立柱、池田圭、 液界面プラズマ研究 - 計算編、液界面プラズマの実験・計算モデル標準化調査専門委員会編、電気学会技術報告第1339号、p.8(2015).
• 小田昭紀、 実践低温プラズマシミュレーション、 J. Plasma Fusion Res., 93(6),285(2017).
• 真壁利明、反応性非平衡プラズマのモデリング、応用物理、60(7),663(1991).

タイトルに関連する用語 (5件)： 汎用 ,  マルチフィジックス ,  解析ソフト ,  低温プラズマ ,  シミュレーション