文献

J-GLOBAL ID：202202214344298282   整理番号：22A0879779

循環型社会を実現する工業分野の計測技術 デジタル社会の進化を支える半導体製造歩留まり向上ソリューション

著者 (5件)： 山崎彦太 (日立ハイテク) ,  鈴木誠 (日立ハイテク) ,  土肥歩未 (日立ハイテク) ,  津野夏規 (日立 計測イノベーションセ) ,  君塚平太 (日立ハイテク)
資料名： 日立評論
巻： 104  号： 2  ページ： 223-228  発行年： 2022年03月20日 
JST資料番号： F0062A  ISSN： 0367-5874  CODEN： HITAA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 社会生活のデジタル化とともに,カーボンニュートラル実現に向けた低消費電力化が社会課題となっている。先端半導体メーカーはこれらの課題を解決すべくデバイス開発を進めているが,高速化・大容量化・低消費電力化などの多くの課題に直面している。株式会社日立ハイテクは,半導体計測・検査事業を通じて先端半導体メーカーの製造歩留まり向上に貢献している。本稿では,複雑化する半導体の製造歩留まり向上を支援するべく,日立ハイテクの新たな計測ソリューションと,今後の展開について紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： 社会 ,  *製造 ,  *高速化 ,  *容量 ,  消費電力 ,  改良 ,  計測
準シソーラス用語： 循環型社会 ,  *大容量化 ,  低消費電力化 ,  *半導体製造 ,  歩留り向上

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (14件)：

• 環境省,令和3年版 環境・循環型社会・生物多様性白書 第1部 第2章 脱炭素社会・循環経済・分散型社会への3つの移行(2021.6), https://www.env.go.jp/policy/hakusyo/r03/html/hj21010201.html
• 株式会社日立ハイテク,企業情報,数字でわかる!日立ハイテク, https://www.hitachi-hightech.com/jp/about/data/
• H. Xiao: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology, Second Edition, SPIE Press Book (2012.9)
• 池上透,外:半導体用微小寸法計測システムの発展と今後の展望,日立評論,93,2,183~187(2011.2)
• H. Xiao: 3D IC Devices, Technologies, and Manufacturing, SPIE Press Book (2016.4)

タイトルに関連する用語 (9件)： 循環型社会 ,  工業 ,  計測技術 ,  デジタル ,  社会 ,  進化 ,  半導体製造 ,  歩留まり向上 ,  ソリューション