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J-GLOBAL ID：202202214351565130   整理番号：22A0809069

分析Electron顕微鏡におけるX線検出器性能と固体角の定量的評価と測定【JST・京大機械翻訳】

Quantitative Assessment and Measurement of X-ray Detector Performance and Solid Angle in the Analytical Electron Microscope

著者 (1件)： Zaluzec Nestor J. (Argonne National Laboratory, Photon Science Directorate, Argonne, IL , USA)
資料名： Microscopy and Microanalysis  (Microscopy and Microanalysis)
巻： 28  号： 1  ページ： 83-95  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1587A  ISSN： 1431-9276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広範囲のX線検出器と形状は,今日,透過/走査透過分析電子顕微鏡で利用可能である。それらの個々の性能の多くの報告があるが,システム間の比較の基礎として,単一の実験的に再現可能な計量は提案されていない。本論文では,分析システムの性能の生産者に依存しない評価を提供するために使用できる,モデリング,実験手順,測定,および試験片を詳細に述べる。これらのプロトコルを用いて,幾何学的収集効率,システムピーク,および最小検出限界を独立に評価することができ,個々の機器に対する最新のハイパースペクトルおよび/またはスペクトル分解トモグラフィー分析を行うための最良の条件を決定するために使用できる。X線検出器の固体角度を実験的に決定するために,適切なシステムキャリブレーションを用いて簡単な解析式と試料を提示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 収集 ,  スペクトル分解 ,  生産者 ,  角度 ,  検出限界 ,  トモグラフィー ,  *X線検出器
準シソーラス用語： ハイパースペクトル ,  分析電子顕微鏡 ,  定量的評価 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： AEM ,  SDD ,  Si(Li) ,  固体角 ,  XEDS

分類 (2件)： その他の物理分析  (CC03014E) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分析 ,  顕微鏡 ,  X線検出器 ,  固体 ,  定量的評価