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J-GLOBAL ID：202202215435906727   整理番号：22A0847791

テレセントリックレンズによる顕微鏡システムのためのマルチ深さ3D形状測定【JST・京大機械翻訳】

Multi-Depth-of-Field 3-D Profilometry for a Microscopic System With Telecentric Lens

著者 (7件)： Wang Xianshun (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Zhu Dongchen (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Shi Wenjun (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Liu Jun (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Fu Fengjie (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Li Jiamao (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China) ,  Zhang Xiaolin (Bionic Vision System Laboratory, State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai, China)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 71  ページ： ROMBUNNO.5002109.1-9  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フリンジ投影に基づく顕微鏡形状測定は,その非接触で堅牢な性質のために顕著であり,産業エレクトロニクスで広く使用されている。しかし,電子パッケージを観察する能力はレンズの磁場(DOF)の深さによって制限される。本論文では,この限界を克服するために,テレセントリック3D形状測定に基づく新しい再構成方式を提案した。位相シフトフリンジ投影に基づく形状測定の利点を,単一DOFによる高精度輪郭測定を達成するために,デフォーカス検出を通して利用した。そのような局所再構成を完了後,完全な3Dモデルを,異なるDOFsの部分フラグメントから登録し,その厚さがDOFの3倍を超える物体の幾何学的構造を測定する顕微鏡システムに対して単純である。局所再構成におけるオクルージョンを収容するために,特定の検出アルゴリズムを強度分散に基づいて設計した。さらに,キャリブレーションロバスト性と精度を改善するために,新しい投影システムキャリブレーション方式を提示した。コーナーの座標を計算するために検出した位相を直接使用する代わりに,位相と画素座標の間の関係を最初にモデル化し,次に位相を回復するために推定パラメータを利用した。提案手法は較正結果に対するキャリブレーションボード噴霧誤差の影響を低減する。実験は,この新しい手法の有効性を示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アルゴリズム ,  誤差 ,  磁場 ,  *レンズ ,  キャリブレーション ,  形状測定 ,  画素 ,  再構成 ,  計測 ,  電子技術 ,  位相 ,  ロバスト性 ,  オクルージョン ,  三次元モデル
準シソーラス用語： デフォーカス ,  検出アルゴリズム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 顕微鏡システム ,  マルチ ,  3D形状測定