抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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中間-1960年代に開始して,Auger電子分光法(AES)におけるピークの検出と表示を,ロックイン増幅器を用いた電子検出と結合した電子エネルギーアナライザの変調を用いて改善した。これにより,電子エネルギー分布,N(E)の導関数がロックイン増幅器の出力で直接得られ,それにより,二次および後方散乱電子による比較的大きく,ゆっくり変化する電子背景信号からの影響の大部分を除去することができた。比較的低い変調振幅に対して,Auger特徴のピーク対ピーク強度は変調振幅(偏向型アナライザに対して)と共に直線的に増加し,信号対雑音比を改善した。しかし,比較的大きい変調で,Augerピーク形状は歪曲し,ピーク対ピーク高さは最終的に減少し,この非線形性は定量分析に問題を引き起こす。このピーク歪による近似補正に対する一重項Augerピークに対する普遍的な曲線を開発したが,このような歪を正確に補正するアプローチはAESコミュニティにより大きく無視された。この手法は動的背景サブトラクションと呼ばれ,変調とロックイン増幅器を用いたいくつかのAuger機器がまだ製造されている。このレビュー論文は,AESデータにおける変調効果の近似的および正確な補正を記述する。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】