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J-GLOBAL ID：202202219265019102   整理番号：22A0855622

線形ステージのための幾何光学に基づく6自由度誤差測定システムの開発と検証【JST・京大機械翻訳】

Development and verification of six-degree-of-freedom error measurement system based on geometrical optics for linear stage

著者 (2件)： Tai Wei-Che (Department of Mechanical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan City, Taiwan) ,  Liu Chien-Sheng (Department of Mechanical Engineering, National Cheng Kung University, Tainan City, Taiwan)
資料名： International Journal of Advanced Manufacturing Technology  (International Journal of Advanced Manufacturing Technology)
巻： 119  号： 5-6  ページ： 3903-3916  発行年： 2022年 
JST資料番号： T0397A  ISSN： 0268-3768  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,幾何学的光学に基づく6自由度(6DOF)誤差測定システムを線形段階に対して提案した。この測定システムは,センサに投影された光スポットが移動ステージで背面と前方に移動するように,センサーをステージに抵抗する付加的線形ステージを使用する。この方法は,長距離6DOF測定を達成した。市販のレーザ干渉計と比較して,提案した測定システムは,より低いコスト,より単純な構造,および6DOF誤差を同時に測定する能力の利点を有する。Zemaxソフトウェアを用いて,6DOF誤差と位置敏感検出器の値の間の関係をシミュレーションした。次に,MATLABソフトウェアを用いて,光路の前方および逆数学的運動学モデルを構築し,曲線フィッティングを通してモデルを簡素化した。最後に,設置と製造誤差に対処するために,6軸Stewartプラットフォームを用いて逆運動学数学的解を得た。提案した測定システムを,6DOF誤差を測定するために市販線形段階で実験的に実装し,市販の干渉計と電子レベルで得た結果に対して検証した。Copyright The Author(s), under exclusive licence to Springer-Verlag London Ltd., part of Springer Nature 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 干渉計 ,  簡素化 ,  曲線あてはめ ,  *幾何光学 ,  ソフトウェア ,  *自由度 ,  *舞台 ,  レーザ干渉計
準シソーラス用語： 光路 ,  MATLAB ,  逆運動学 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 幾何学的誤差 ,  スキューレイトレーシング ,  6自由度誤差測定 ,  工作機械の線形ステージ ,  エラーデカップル ,  クロストーク

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 線形 ,  ステージ ,  幾何光学 ,  6自由度 ,  誤差 ,  測定システム ,  開発 ,  検証