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J-GLOBAL ID：202202219543672209   整理番号：22A0796181

サファイア半球の磁気レオロジー研磨(MRP)性能に及ぼす磁石の量と極配置の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of quantities and pole-arrangements of magnets on the magneto-rheological polishing (MRP) performance of sapphire hemisphere

著者 (3件)： Zhai Quan (School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, Heilongjiang Province, People’s Republic of China) ,  Zhai Wenjie (School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, Heilongjiang Province, People’s Republic of China) ,  Gao Bo (School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, Heilongjiang Province, People’s Republic of China)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 584  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サファイア半球の研磨効率を改善するために,サファイア半球の磁気粘性研磨(MRP)性能に及ぼす磁場発生器における磁石の量と極配置の影響をシミュレーションと実験によって研究した。サファイア半球表面上の磁場の分布およびMRPの間のサファイア表面と磁場発生器の間の相対運動によるその変化を分析した後に,著者らはPreston方程式に基づく材料除去率(MRR)モデルを開発し,研磨サファイア表面の材料除去分布と平均除去深さを予測することができた。次に,計算した材料除去分布に従って,研磨サファイアの表面粗さモデルを確立した。シミュレーションと実験結果は,研磨サファイアのMRRが磁石の量と共に増加し,一方,研磨サファイアの表面粗さRaは磁石の量とともに減少することを示した。極配置の影響に関しては,交差積層配置は,0.496μm/hのMRRでRa2.97nmの表面を生成し,交差インボリュート配置は,MRPにおいて0.435μm/hのMRRでRa0.79nmのより滑らかな表面を達成した。これらの結果は,交差インボリュートと交差積層ポール-配置がサファイア半球のMRPにとって好ましいことを示した。実験と理論的結果の間の良好な一致は,確立したMRRとRaモデルの信頼性を検証した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *研磨 ,  磁場 ,  *磁石 ,  信頼性 ,  ラジウム ,  除去 ,  比率 ,  インボリュート ,  磁気粘性 ,  *極零点配置 ,  *サファイア ,  磁場発生 ,  相対運動
準シソーラス用語： *マグネトレオロジー ,  材料除去 ,  材料除去率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 磁気レオロジー研磨(MRP) ,  磁石量 ,  磁石極配置 ,  サファイア半球 ,  MRRモデル ,  Raモデル

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体の表面構造一般  (BK15010E)

タイトルに関連する用語 (8件)： サファイア ,  半球 ,  磁気レオロジー ,  研磨 ,  MRP ,  磁石 ,  量 ,  極配置