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J-GLOBAL ID：202202219852754929   整理番号：22A1082400

5kPaのガス圧力下でのヘリウムアーク放電プラズマ照射による繊維型ナノ構造タングステン形成【JST・京大機械翻訳】

Fiber-form nanostructured tungsten formation by helium arc discharge plasma irradiation under a gas pressure of 5 kPa

著者 (7件)： Kikuchi Y. (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan) ,  Aota T. (Yumex Inc., Himeji, Hyogo 671-2114, Japan) ,  Kadowaki K. (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan) ,  Tajima M. (School of Engineering, University of Hyogo, Himeji, Hyogo 671-2280, Japan) ,  Maenaka S. (Yumex Inc., Himeji, Hyogo 671-2114, Japan) ,  Fujita K. (Yumex Inc., Himeji, Hyogo 671-2114, Japan) ,  Takamura S. (Yumex Inc., Himeji, Hyogo 671-2114, Japan)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 131  号： 12  ページ： 123301-123301-8  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 5kPaのガス圧で生成したヘリウム(He)アーク放電プラズマを用いて,繊維形ナノ構造タングステン(W)形成に成功した。W基板は約1000°Cの表面温度でHeアーク放電プラズマに曝露した。バイアス電圧V_bを,入射HeイオンエネルギーE_iを制御するために,W基板と真空室の間で適用した。走査電子顕微鏡(SEM)観察は,W表面がわずかに粗くなるが,繊維形ナノ構造は-22VのV_bで形成されないことを示した。一方,繊維形ナノ構造成長は-112VのV_bで観察された。さらに,断面SEM観察は,W繊維内のHe気泡の存在とW基板のサブ表面層の存在を明らかにした。シース中のイオンと中性物の間の衝突を5kPaで無視できないので,E_i分布の理論的評価を衝突シースモデルを用いて行った。さらに,Heアーク放電プラズマ照射による炭素基板のスパッタリング収率を用いたE_iの実験的評価を行い,次いでE_iをV_b=-112Vに対して40~50eVを得た。従って,V_b=-112VでのE_iの分布は20eV以上を含み,これは通常の低ガス圧力プラズマ照射実験で見出された繊維形ナノ構造Wの成長に必要である。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アーク放電 ,  イオン ,  気泡 ,  *プラズマ ,  走査電子顕微鏡 ,  *タングステン ,  炭素 ,  *ヘリウム ,  表面温度 ,  *ナノ構造 ,  *プラズマ曝露
準シソーラス用語： バイアス電圧 ,  走査電子顕微鏡法 ,  *放電プラズマ ,  イオンエネルギー ,  *ガス圧 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガス圧力 ,  ヘリウム ,  アーク放電 ,  プラズマ照射 ,  繊維型ナノ構造 ,  タングステン