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J-GLOBAL ID：202202219898147231   整理番号：22A0943562

窒化チタン/AlN多層膜の微細構造,機械的性質および耐食性【JST・京大機械翻訳】

Microstructures, mechanical properties and corrosion resistance of TiN/AlN multilayer films

著者 (6件)： Zuo Bin (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Zuo Bin (Key Laboratory of Functional Materials Physics and Chemistry of the Ministry of Education, Jilin Normal University, Siping, 136000, China) ,  Xu Junhua (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Lu Guiyun (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Ju Hongbo (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China) ,  Yu Lihua (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province, 212003, China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 48  号： 8  ページ： 11629-11635  発行年： 2022年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる変調周期(Λ)を有する窒化チタン/AlN多層膜をRF反応性マグネトロンスパッタリングによって調製した。窒化チタン/AlN多層膜の微細構造,機械的性質および耐食性を,X線回折(XRD),透過型電子顕微鏡(TEM),ナノインデンテーションおよび電気化学的包括的試験機によって調査した。結果は,窒化チタン/AlN多層膜が面心立方(fcc)窒化チタンと緊密に充填された六方晶(hcp)AlNから成ることを示した。多層膜は,Λが2から12nmまで増加すると,コヒーレントエピタキシャル成長である。硬さと耐食性は,Λが2から12nmに増加した。最適硬度は29.27GPaで,最も強い耐食性はΛ=12nmであった。コヒーレント界面は破壊され,26nm~36nmの変調周期の間,硬度が急激に減少した。自己腐食電位は減少し,自己腐食電流密度は増加した。膜の耐食性は,Λが26nmから36nmまで増加すると減少した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  エピタクシー ,  界面 ,  *機械的性質 ,  コヒーレンス ,  腐食 ,  *耐食性 ,  *窒化物 ,  X線回折分析 ,  電流密度 ,  *チタン化合物 ,  電気化学 ,  *多層膜 ,  六方晶系 ,  *窒化アルミニウム ,  腐食電位 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： *窒化チタン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 窒化チタン/AlN多層膜 ,  微細構造 ,  変調周期 ,  エピタキシャル成長 ,  耐食性

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 窒化チタン ,  AlN ,  多層膜 ,  微細構造 ,  機械的性質 ,  耐食性