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J-GLOBAL ID:202202220021085105   整理番号:22A0427964

ゾル-ゲルディップコーティング法で作製した(Mn,Al)CoドープZnO薄膜の構造,形態及び光学特性【JST・京大機械翻訳】

Structural, Morphological and Optical Properties of (Mn, Al) Co-Doped ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Dip Coating Method
著者 (4件):
資料名:
巻: 44  ページ: 17-28  発行年: 2022年 
JST資料番号: W3692A  ISSN: 2234-9898  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: スイス (CHE)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,アルミニウム(Al)とマンガン(Mn)共ドープZnO薄膜を,種々のAl濃度(1%,3%,および5%)のゾル-ゲルディップコーティング法によって,ガラス基板上に成功裏に合成した。X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(AFM),およびUV-VIS分光法で,得られた薄片の構造,形態,および光学的性質を特性評価した。XRDパターンから,膜は,非ドープZnO薄膜に対して(101)に沿った優先配向を有する多結晶六方晶構造を持ち,さらに共ドープZnO薄膜は,MnまたはAl関連相なしで(002)方向への優先方位のシフトを示した。モルフォロジー解析は,膜が均一で高密度のZnO粒を持ち,ボイドと亀裂がなく,表面粗さ(RMS)がAlドーピング濃度が1%から3%に増加したとき,8,27から14,43nmに増加することを示した。しかし,Alドーピング濃度が5%のとき,RMS値は2,80nmに減少した。光学分析から,より高い平均透過率は5%Alドーピング濃度に対応することが分かった。Copyright 2022 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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