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J-GLOBAL ID：202202220381327682   整理番号：22A0924242

カンチレバーベース光音響効果を用いた電磁放射検出:広いスペクトル感度と大きなダイナミックレンジを持つ電力検出器を実現する方法【JST・京大機械翻訳】

Electromagnetic radiation detection using cantilever-based photoacoustic effect: A method for realizing power detectors with broad spectral sensitivity and large dynamic range

著者 (9件)： Sharma Sucheta (Metrology Research Institute, Aalto University, Maarintie 8, FI-02150 Espoo, Finland) ,  Laurila Toni (Metrology Research Institute, Aalto University, Maarintie 8, FI-02150 Espoo, Finland) ,  Rossi Jussi (Photonics Laboratory, Tampere University, Korkeakoulunkatu 7 Kampusareena, 33720 Tampere, Finland) ,  Uotila Juho (Patria Aviation Oy, Hatanpaeaen valtatie 30, 33100 Tampere, Finland) ,  Vainio Markku (Photonics Laboratory, Tampere University, Korkeakoulunkatu 7 Kampusareena, 33720 Tampere, Finland) ,  Vainio Markku (Department of Chemistry, University of Helsinki, PB 55 (A. I. Virtasen aukio 1), 00014 Helsinki, Finland) ,  Manoocheri Farshid (Metrology Research Institute, Aalto University, Maarintie 8, FI-02150 Espoo, Finland) ,  Ikonen Erkki (Metrology Research Institute, Aalto University, Maarintie 8, FI-02150 Espoo, Finland) ,  Ikonen Erkki (VTT MIKES, Tekniikantie 1, 02150 Espoo, Finland)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 337  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンカンチレバーを用いた高感度光音響検出アプローチを電磁放射の電力測定に対して調べた。放射誘起熱により発生する圧力波によって駆動される技術は,325nmから1523nmまでのかなり大きなスペクトル範囲に対して高感度を示す。実装した方法は15nWから6mWまでの放射パワーの測定において線形応答を示し,ほぼ6桁のダイナミックレンジを示した。測定感度を解析し最適化するために数値モデルを開発した。モデルは,放射線検出プロセスの鍵となる構成要素の1つであるカンチレバーの種々の寸法を研究することを可能にする。数値結果は実験結果と良く一致した。電磁力検出技術は,産業応用と科学的研究に対する将来の可能性を示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 応答 ,  最適化 ,  *電力 ,  *音響 ,  ケイ素 ,  光学的測定 ,  *片持梁 ,  *分光感度 ,  *スペクトル ,  検出法 ,  *光音響効果 ,  *電磁波放射 ,  *ダイナミックレンジ ,  電磁力
準シソーラス用語： 数値モデル ,  線形応答 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (7件)： 光音響 ,  すす ,  検出器 ,  光学的計測法 ,  放射線検出 ,  光音響数値モデル ,  カンチレバー圧力センサ

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (6件)： カンチレバー ,  光音響効果 ,  電磁放射 ,  スペクトル感度 ,  ダイナミックレンジ ,  検出器