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J-GLOBAL ID：202202220494573167   整理番号：22A0887320

MEMS技術に基づく新しい電極を用いたウェアラブル圧電電気-電気マイクロセンサ【JST・京大機械翻訳】

A Wearable Piezoelectro-Triboelectric Microsensor Using Novel Electrodes Based on MEMS Technology

著者 (2件)： Zhou Nannan (School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, P.R. China) ,  Ao Hongrui (School of Mechatronics Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, P.R. China)
資料名： Mechanisms and Machine Science  (Mechanisms and Machine Science)
巻： 111  ページ： 1017-1025  発行年： 2022年 
JST資料番号： W5073A  ISSN： 2211-0984  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロセンサの開発は,臨床治療,環境モニタリングおよび疾患予防のような問題を解決する可能性を提供する。本論文では,MEMS技術を用いて,新しい電極を形成するために金属電極と組み合わせることができる有機膜電極の調製にナノ粒子をドープする。これはまた,センサ調製プロセスにおける重要なステップである。センサの出力性能と摩耗性を測定した。実験結果は,本論文で設計したウェアラブルセンサが優れた出力性能とセンシング特性を有することを示した。これは,新しい電極がマイクロセンサの性能を改善するだけでなく,ウェアラブルセンサの応用範囲を拡大することを示した。本研究はウェアラブルセンサの設計のための貴重な参照を提供する。Copyright The Author(s), under exclusive license to Springer Nature Singapore Pte Ltd. 2022 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 摩擦電気 ,  *電極 ,  *圧電気 ,  ドーピング ,  臨床医学 ,  センサ ,  環境モニタリング ,  ナノ粒子 ,  摩耗特性 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *マイクロセンサ ,  ウェアラブルセンサ ,  ウェアラブル ,  金属電極 ,  疾病予防 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ウェアラブルセンサ ,  新しい電極 ,  圧電効果 ,  摩擦電気効果

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  ウェアラブル ,  圧電 ,  マイクロセンサ