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J-GLOBAL ID:202202220530963041   整理番号:22A1090922

複雑な3D部品の表面を保護するための汎用溶液としてのMo-Se-Nドライ潤滑剤被覆【JST・京大機械翻訳】

Mo-Se-N dry lubricant coatings as a universal solution for protecting surfaces of complex 3D parts
著者 (7件):
資料名:
巻: 316  ページ: Null  発行年: 2022年 
JST資料番号: E0935A  ISSN: 0167-577X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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工業規模でのスパッタ固体潤滑剤被覆の実装で遭遇する最も重要な課題の一つは,複雑な3D部品で達成される特性の不均一性である。これは,組成変化がこれらの複雑な部分で避けられないという事実による。この限界は,化学組成変化にもかかわらず一貫した滑り特性を示すことができるシステムを開発する場合にのみ克服できる。この重要な問題に取り組むために,本研究では,初めてDCスパッタMo-Se-N被覆を調べた。コーティングは,異なる化学組成を有する半工業装置に堆積した。すべての被覆は,かなりコンパクトで,X線非晶質であり,~5GPaの最大硬度を有した。室温の大気におけるトライボロジー試験の間,すべての被覆は,一貫した,そして,類似の摩擦係数と比摩耗率を示し,それらの高いポテンシャルが,3D部品上の堆積に使用されることを示した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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半導体薄膜 
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