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J-GLOBAL ID：202202220578910688   整理番号：22A1100948

TE_01モード円筒空洞を用いたマイクロ波表面抵抗測定におけるリフトオフと傾斜効果【JST・京大機械翻訳】

Lift-Off and Tilt Effect in Microwave Surface Resistance Measurement Using TE₀₁₁ Mode Cylindrical Cavity

著者 (5件)： Ye Ming (College of Information and Control Engineering, Xi’an University of Architecture and Technology, Xi’an, China) ,  Jiang Lifei (Shanghai Institute of Aerospace Electronic Communication Equipment, Shanghai, China) ,  Xiang Feng (Faculty of Electronic and Information Engineering, School of Microelectronics, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China) ,  Yang Fang (College of Information and Control Engineering, Xi’an University of Architecture and Technology, Xi’an, China) ,  He Yongning (Faculty of Electronic and Information Engineering, School of Microelectronics, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, China)
資料名： IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement  (IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement)
巻： 71  ページ： ROMBUNNO.8002308.1-8  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0232A  ISSN： 0018-9456  CODEN： IEIMAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 加速器,マイクロ波システムおよび集積回路のような応用には,マイクロ波または高周波数帯域での表面抵抗の測定が必要である。TE_011モードで動作する円筒共振器を,数十年間表面抵抗測定に適用した。通常,試験中の試料はキャビティの終板の1つとして使用され,シリンダ側壁に直接接触し,非接触測定とみなすことができない。本論文では,試験下の試料のリフトオフ効果に関する定量的研究を通して,サンプルと空洞側壁の間の空気ギャップ(約0から10mmの範囲)を意図的に導入することによって非接触表面抵抗測定を実現する可能性を探求した。電磁シミュレーションと実験の両方の結果から,試料の傾斜効果の注意によって,表面抵抗を非接触方法で測定することができると結論できる。電気伝導率が2から58MS/m(標準渦電流法で測定)の研磨金属板の測定結果は,相対測定誤差が10%以下と予想されることを示した。関連する出版物と比較して,この研究の焦点をリフトオフ効果に置き,より大きな範囲の空気ギャップを導入した。得られた結果は,空気ギャップサイズが,真空チャンバでの温度依存測定,in situ診断ツールのような特殊な応用のための表面抵抗測定システムの設計における付加的考察であるかもしれないことを示した。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 加速器 ,  共振器 ,  研磨 ,  集積回路 ,  電気伝導率 ,  *マイクロ波 ,  シリンダ ,  *表面抵抗 ,  金属板 ,  終板 ,  温度依存性 ,  渦電流 ,  磁気ギャップ ,  *微細加工
準シソーラス用語： *リフトオフ ,  *抵抗測定 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 非破壊試験  (HB02030F) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 空洞 ,  マイクロ波 ,  表面抵抗 ,  リフトオフ