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J-GLOBAL ID：202202221080014203   整理番号：22A0799244

NO_xガスの低温検出のためのITO表面上のZnOナノロッドアレイ膜のin situ成長【JST・京大機械翻訳】

In situ growth of ZnO nanorods array film on the surface of ITO for low temperature detection of NOx gas

著者 (4件)： Jin Xiaojuan (School of Chemistry and Environmental Engineering, Jilin Provincial Science and Technology Innovation Center of Optical Materials and Chemistry, Changchun University of Science and Technology, Changchun, 130022, PR China) ,  Yan Yilin (School of Chemistry and Environmental Engineering, Jilin Provincial Science and Technology Innovation Center of Optical Materials and Chemistry, Changchun University of Science and Technology, Changchun, 130022, PR China) ,  Tian Lecheng (School of Chemistry and Environmental Engineering, Jilin Provincial Science and Technology Innovation Center of Optical Materials and Chemistry, Changchun University of Science and Technology, Changchun, 130022, PR China) ,  Zhang Jiaqi (College of Materials Science and Engineering, Key Laboratory of Automobile Materials, Ministry of Education, Jilin University, Changchun, 130012, China)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 142  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素酸化物は,中程度の大気濃度またはそれ以上(10-20mmHg)で吸入すると,最も有害なガスの一つであり,ヒトの健康に毒性が高い。センシングNO_xは,低温レベルと室温で最も挑戦的な課題の1つである。ZnOナノ構造を水熱法で合成した。ZnOナノロッドアレイ膜の濡れ性とガス感度を研究した。結果は,ZnOナノロッド配列膜がKClの添加によって疎水性であることを示した。さらに,ZnOナノロッドアレイ膜はNO_xに対して正の応答を示した。ガス検知性能は,ZnOナノロッドアレイ膜に基づくセンサ応答が0.1~3ppmの範囲でNO_xの濃度と線形関係を有することを示した。それは良好な再現性と選択性を有する。NO_xに対する最大感度は120°Cの操作温度で得られた。NO_xの濃度が3ppmのとき,センサの応答は25であった。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 水熱合成 ,  *低温 ,  濡れ ,  薄膜 ,  疎水性 ,  *酸化亜鉛 ,  酸化窒素 ,  再現性 ,  配列 ,  センサ ,  ナノ構造 ,  *ナノロッド
準シソーラス用語： *ナノロッドアレイ ,  ガス感度 ,  *酸化亜鉛ナノロッド , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ZnO ,  ナノロッド ,  疎水性 ,  ガスセンサー ,  薄膜

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低温 ,  ITO ,  ZnOナノロッド ,  アレイ ,  成長