文献

J-GLOBAL ID：202202221621644043   整理番号：22A1035522

微小電気機械ねじり振動子におけるパラメトリック共鳴【JST・京大機械翻訳】

Parametric Resonance in a Microelectromechanical Torsional Oscillator

著者 (4件)： Turner Kimberly L. (Cornell University) ,  Hartwell Peter G. (Cornell University) ,  Bertsch Fred M. (Cornell University) ,  MacDonald Noel C. (Cornell University)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE98  ページ： 335-340  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のMEMSデバイスにおいて,機械的不安定性は,共鳴[1]以外の駆動周波数で起こることが観察された。そのようなデバイスの一つは,統合チップを有するねじり走査プローブz-アクチュエータである。以前に報告された研究は,5つのMatheiu不安定性周波数と最初の2つの不安定性領域[1]の実験マップを同定した。本論文では,不安定性に対する減衰の影響を示すために,研究を拡張した。この系の運動はMathieu型方程式によって記述され,それは理論的に広く研究されているが,システムの減衰は理論[2]によって予測された広範囲の不安定性を示すことからほとんどの実験を禁止した。実験では,レーザ振動計を光学顕微鏡に搭載してデバイス運動を正確に測定した。安定解と不安定解の間の境界は極めて鋭いことを示した。不安定性境界近くのデバイスの挙動は,改良フィルタ技術と小力センシングに適用できる。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共鳴 ,  *ねじり ,  フィルタ ,  プローブ ,  *ねじり振動 ,  光学顕微鏡 ,  アクチュエータ ,  周波数 ,  不安定性 ,  *MEMS
準シソーラス用語： レーザ振動計 ,  *パラメトリック共鳴 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小電気機械 ,  ねじり ,  振動子 ,  パラメトリック共鳴