文献

J-GLOBAL ID：202202221877791268   整理番号：22A0956625

先進ナノエレクトロニクスとセンサ応用のためのナノワイヤの3D成長工学と統合に関するレビュー【JST・京大機械翻訳】

Review on 3D growth engineering and integration of nanowires for advanced nanoelectronics and sensor applications

著者 (2件)： Hu Ruijin (National Laboratory of Solid-State Microstructures/School of Electronics Science and Engineering/ Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, Nanjing University, 210093 Nanjing, People’s Republic of China) ,  Yu Linwei (National Laboratory of Solid-State Microstructures/School of Electronics Science and Engineering/ Collaborative Innovation Center of Advanced Microstructures, Nanjing University, 210093 Nanjing, People’s Republic of China)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 33  号： 22  ページ： 222002 (16pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,先進の3次元(3D)構造における基本的なビルディングブロックとして,準一次元(1D)ナノワイヤ(NWs)の成長,組立および統合に関する努力が増えており,一連の新しいナノエレクトロニクスおよびセンサ応用を探索する。重要な動機は,面外z方向により多くの機能単位を積層することにより,電子素子の積分密度を増強させることであり,そこでは,NWsが,そのフットプリント面積を最小化するために,垂直立位または横方向積層チャネルとしてパターン化されるか,または成長すると考えられる。他の駆動力は,1D NWsをより複雑にエンジニアリングするユニークな可能性,ならびに,先進ナノ電気機械システム(NEMS),バイオセンシングおよび操作応用を開発するための理想的なナノ構造である螺旋ばねおよびキンクプローブのような,より機能的で3Dナノ構造である。このレビューは,まず,3Dナノ電子デバイスの構築でなされた最近の進展と,垂直立位または横方向積層NWチャネルの効率的な3D統合を可能にする新しい製作と成長技術を調べる。次に,より洗練された3D螺旋ばねまたは目的設計ナノプローブを生成し,仕立てる異なるアプローチを,神経系におけるNEMS共振器,バイオセンサおよび刺激装置におけるそれらの応用とともに再考した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 共振器 ,  神経系 ,  固体素子 ,  キンク ,  *電子技術 ,  一次元 ,  *三次元 ,  バイオセンサ ,  パターン形成 ,  ナノ構造 ,  駆動力 ,  *ナノワイヤ
準シソーラス用語： NEMS ,  *ナノエレクトロニクス ,  ナノプローブ ,  ビルディングブロック ,  電子素子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (8件)： ナノエレクトロニクス ,  応用 ,  ナノワイヤ ,  3D ,  成長 ,  工学 ,  統合 ,  レビュー