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J-GLOBAL ID：202202222525204851   整理番号：22A0082147

有機溶媒によるポリイミド膜の重イオン飛跡エッチングの増強【JST・京大機械翻訳】

Enhancement of heavy ion track-etching in polyimide membranes with organic solvents

著者 (7件)： Froehlich Kristina (Department of Material- and Geo-Sciences, Materials Analysis, Technische Universitaet Darmstadt, Alarich-Weiss-Str. 02, D-64287 Darmstadt, Germany) ,  Scheuerlein Martin Christoph (Department of Material- and Geo-Sciences, Materials Analysis, Technische Universitaet Darmstadt, Alarich-Weiss-Str. 02, D-64287 Darmstadt, Germany) ,  Ali Mubarak (Department of Material- and Geo-Sciences, Materials Analysis, Technische Universitaet Darmstadt, Alarich-Weiss-Str. 02, D-64287 Darmstadt, Germany) ,  Ali Mubarak (Materials Research Department, GSI Helmholtzzentrum fuer Schwerionenforschung, D-64291, Darmstadt, Germany) ,  Nasir Saima (Department of Material- and Geo-Sciences, Materials Analysis, Technische Universitaet Darmstadt, Alarich-Weiss-Str. 02, D-64287 Darmstadt, Germany) ,  Nasir Saima (Materials Research Department, GSI Helmholtzzentrum fuer Schwerionenforschung, D-64291, Darmstadt, Germany) ,  Ensinger Wolfgang (Department of Material- and Geo-Sciences, Materials Analysis, Technische Universitaet Darmstadt, Alarich-Weiss-Str. 02, D-64287 Darmstadt, Germany)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 33  号： 4  ページ： 045301 (12pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリイミド(PI)膜のイオン飛跡エッチングに及ぼす有機溶媒の影響を調べ,ナノ細孔作製プロセスおよび細孔径成長の制御を強化した。この目的のために,PI膜のナノポア作製に及ぼす有機溶媒の影響を調べるために2つのアプローチを採用した。第一のアプローチでは,重イオン照射PI試料を有機溶媒で前処理し,次いで次亜塩素酸ナトリウム(NaOCl)溶液で化学エッチングし,未処理のものと比較して~4.4倍大きい細孔径を得た。第二の方法は,エッチング液(NaOCl)溶液が種々の量の有機溶媒(vol%)を含む一段階トラックエッチングプロセスに基づいている。実験データは,エッチング液混合物を用いて,バルクエッチングとトラックエッチング速度の両方の著しい増加が観察され,ナノポア作製時間の~47%の減少をもたらした。PI膜におけるナノポア作製プロセスのこの増強は,種々の潜在的用途における実用化のための新しい機会を開くであろう。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エッチング ,  前処理 ,  混合液体 ,  細孔径 ,  重イオン照射 ,  *有機溶媒 ,  エッチング液 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 次亜塩素酸ナトリウム ,  ナノ細孔 ,  エッチング速度 ,  *イオントラック , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 有機溶媒 ,  ポリイミド膜 ,  イオン飛跡 ,  エッチング ,  増強