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J-GLOBAL ID：202202223268184093   整理番号：22A1150765

高エントロピー炭化物のバイポーラ高出力インパルスマグネトロンスパッタリング合成【JST・京大機械翻訳】

Bipolar high-power impulse magnetron sputtering synthesis of high-entropy carbides

著者 (4件)： Hossain Mohammad Delower (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania, USA) ,  Borman Trent (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania, USA) ,  Mcllwaine Nathaniel Seymour (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania, USA) ,  Maria Jon-Paul (Department of Materials Science and Engineering, The Pennsylvania State University, University Park, Pennsylvania, USA)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 105  号： 6  ページ： 3862-3873  発行年： 2022年 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,反応性バイポーラ高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)による高エントロピー炭化物合成について報告する。反応性ガス流速による非制御微細構造と化学量論発達は,多成分炭化物の従来の直流(DC)と高周波(RF)マグネトロンスパッタリングの主要な制限である。HiPIMSにより,これらの化学的に無秩序な結晶は,炭素欠乏金属(C/M<1)から化学量論的セラミック領域(C/M~1)へ,そして,HiPIMS堆積中の炭素量の関数として,ナノ複合材料エンボジメント(C/M>1)に,構造的および組成的に転換した。X線回折,X線光電子分光法,Raman分光法,走査電子顕微鏡,およびナノインデンテーション硬度測定を組合せて,合成領域の3つの領域を実証した。HiPIMSは,従来のDCおよびRFマグネトロンスパッタリングの場合において理解されない,微細構造および化学量論に対して大きな制御を有する金属,セラミックおよび複合炭化物へのアクセスを提供する。特に,化学量論的セラミックゾーンは,ナノ複合材料微細構造(C/M>1)に転移する前に,一定炭素対金属比(C/M-1)を,メタン流動の延長量にわたって維持する。遷移帯幅は,価電子濃度(VEC)と相関する炭素に対する材料親和性に依存する。このように,新しい高エントロピー炭化物の合成条件を,VECに基づいて理解し,予測した。Copyright 2022 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： X線回折 ,  *エントロピー ,  セラミック ,  走査電子顕微鏡 ,  炭素 ,  *炭化物 ,  流速 ,  化学量論 ,  直流 ,  漸移帯 ,  価電子 ,  X線光電子分光法 ,  Raman分光法 ,  アルカン
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 炭素化学量論 ,  硬さ ,  高エントロピー炭化物 ,  HiPIMS ,  マグネトロンスパッタリング ,  価電子濃度(VEC)

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： エントロピー ,  炭化物 ,  バイポーラ ,  高出力 ,  インパルス ,  マグネトロンスパッタリング