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J-GLOBAL ID：202202223855275338   整理番号：22A0656589

直流コロナ放電による多孔性圧電膜分極時における雰囲気条件の影響

Ambient Condition Effect of Porous Piezoelectric Film Poling by DC Corona Discharge

著者 (3件)： 日高蒔恵 (熊本大 大学院) ,  中妻啓 (熊本大 大学院) ,  小林牧子 (熊本大 大学院)
資料名： 静電気学会誌  (Journal of the Institute of Electrostatics Japan)
巻： 46  号： 1  ページ： 33-37  発行年： 2022年01月31日 
JST資料番号： S0175A  ISSN： 0386-2550  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コロナ放電時の湿度が圧電体多孔質膜に及ぼす影響を調べるため,正負のコロナ放電を用いたPZT/PZTゾルゲル複合体のポーリングプロセスを異なる大気・湿度条件下で動作させた。その結果,雰囲気や湿度の違いがPZT/PZT膜の表面に色や模様として可視化された。正コロナ放電の場合,雰囲気・湿度によらず複合体表面が茶色になったが,これは正コロナ放電時に誘電体多孔質圧電膜の表面に正イオンが帯電し,PZTの酸化物空孔が生じたためと考えられた。これらの色の違いを光学顕微鏡を用いてRGB値で定量的に評価したところ,人間の目視による検査結果と基本的に一致した。また,湿度が低い場合,極性に関係なく斑点模様が確認されることがあり,アーク放電が原因として疑われた。また,高湿度環境下では,極性に関係なく圧電定数や超音波性能が低くなることが確認された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *コロナ放電 ,  *薄膜 ,  *気体 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ゾル-ゲル法 ,  複合体 ,  誘電分極 ,  カチオン ,  誘電体 ,  空格子点 ,  光学顕微鏡 ,  色空間 ,  色信号 ,  アーク放電 ,  湿度 ,  定数 ,  超音波
準シソーラス用語： *多孔質膜 ,  *圧電薄膜 ,  *雰囲気ガス ,  PZT【鉛化合物】 ,  ポーリング処理 ,  正イオン ,  酸素空孔 ,  RGB ,  高湿度 ,  圧電定数

分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (13件)：

• Anthony N. Sinclair and Robert Malkin: Sensors for Ultrasonic Nondestructive Testing (NDT) in Harsh Environments. Sensors, 20(2020) 456
• S. Fujimoto, T. Namihira, K. Iwata and M. Kobayashi: Curie temperature and high temperature behavior of Pb(Zr, Ti)O₃/Pb (Zr, Ti)O₃ sol-gel composites. Jpn. J. Appl. Phys., 54(2015)07HB04
• T. Hara, M. Furukawa, S. Nozawa, K. Nakatsuma and M. Kobayashi: Polarity effect of corona discharge poling for sol-gel composite-based ultrasonic transducers. Jpn. J. Appl. Phys., 59(2020) SKKC10
• Jun Takarada, Y. Tang, T. Tone, K. Takatani, S. Tanaka, Y. Nishizawa, M. Ando, D. Manai, M. Kabata, T. Mizumori, M. Kusunoki, T. Matsuura and Y. Tajitsu: Local Evaluation of Piezoelectricity of Polyester Polymer Processed with Microwave Heating. 静電気学会誌, 45[1](2021) 28
• 神原信志:大気圧プラズマ反応工学ハンドブック反応過程の基礎とシミュレーションの実際,p. 9,NTS (2013)

タイトルに関連する用語 (6件)： 直流 ,  コロナ放電 ,  多孔性 ,  圧電膜 ,  分極 ,  雰囲気