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J-GLOBAL ID：202202224056190262   整理番号：22A1035731

ポリシリコン熱アクチュエータの電熱および製造モデリング【JST・京大機械翻訳】

Electrothermal and Fabrication Modeling of Polysilicon Thermal Actuators

著者 (2件)： Butler Jeffrey T. (Air Force Institute of Technology) ,  Bright Victor M. (University of Colorado)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE98  ページ： 571-576  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリシリコン熱アクチュエータの電熱モデルを開発した。電熱モデルは,製造プロセスに基づいて変化するポリシリコン抵抗率のような重要な材料パラメータの知識を必要とする。ポリシリコン抵抗特性を分析するために,マルチユーザMEMSプロセス(MUMP)の経験的測定とTSUPREMモデルを使用した。電熱モデルをSPICEに実装した。電気回路シミュレータの使用は,統合MEMSとマイクロエレクトロニクスシステムの同時分析を可能にした。SPICEモデルを,MUMPで製作した横方向熱アクチュエータおよび熱ピストンマイクロミラーに首尾よく適用した。モデル結果は測定データとの優れた一致を示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気抵抗率 ,  *電気加熱 ,  *モデリング ,  アクチュエータ ,  同時分析 ,  マイクロエレクトロニクス ,  生産工程 ,  *ポリシリコン ,  MEMS
準シソーラス用語： マルチユーザ ,  材料パラメータ ,  回路シミュレータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ポリシリコン ,  アクチュエータ ,  電熱 ,  モデリング