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J-GLOBAL ID：202202225980725701   整理番号：22A1035407

ポリシリコンMEMSにおける亀裂成長【JST・京大機械翻訳】

Crack Growth in Polysilicon MEMS

著者 (2件)： Van Arsdell William W. (Exponent Failure Analysis Associates) ,  Brown Stuart B. (Exponent Failure Analysis Associates)
資料名： ASME Conference Proceedings  (ASME Conference Proceedings)
号： IMECE98  ページ： 267-272  発行年： 2022年 
JST資料番号： A0478C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MEMS材料における遅い亀裂成長を研究するための実験プロトコルを開発し,このプロトコルを用いて,多結晶シリコン(ポリシリコン)MEMSが応力腐食割れに敏感であることを示した。試験片の非線形動力学モデルを用いて,試験片の周波数応答から亀裂長さと亀裂閉口を推定することができた。この手順は,1nmの亀裂拡大と10~13m/s以下の亀裂成長速度を解決することができる。この非線形系の動力学に顕著な影響を持つ亀裂閉口は,亀裂の面上で成長する天然酸化物と関連している可能性がある。データは,ポリシリコンMEMSにおける亜臨界亀裂成長が水と応力の相乗効果によって駆動されることを示した。マクロスケール応力腐食割れ挙動とは対照的に,亀裂成長速度,応力強度および湿度の間に明確な関係は見られなかった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 応力 ,  *亀裂 ,  周波数応答 ,  非線形系 ,  酸化物 ,  湿度 ,  応力腐食割れ ,  相乗作用 ,  長さ ,  *亀裂伝搬 ,  亀裂閉口 ,  *ポリシリコン ,  *MEMS
準シソーラス用語： 亀裂長さ ,  亜臨界 ,  亀裂伝搬速度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 腐食  (WB03030B)

タイトルに関連する用語 (3件)： ポリシリコン ,  MEMS ,  亀裂成長