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J-GLOBAL ID：202202226047430428   整理番号：22A1213815

振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZTヘテロ集積

Hetero Integration of Ferromagnetic NdFeB and Piezoelectric PZT for Vibratory MEMS Energy Harvesting Devices

著者 (5件)： 武田光平 (兵庫県立大学) ,  七里愛 (兵庫県立大学) ,  神田健介 (兵庫県立大学) ,  藤田孝之 (兵庫県立大学) ,  前中一介 (兵庫県立大学)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 142  号： 4  ページ： 56-62(J-STAGE)  発行年： 2022年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文は,MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeBと圧電PZT薄膜のヘテロ集積に取り組む。PZTとNdFeBの積層構造を,SrRuO₃/SiO₂薄膜のバリア・不動態化層を用いて実現する。NdFeBの磁気特性は,PZT薄膜の高温成膜後でも従来のものの磁気特性に匹敵する。PZTの強誘電ヒステリシス曲線も観察できる。直径が100mmの全ウエハ上の別の箇所のPZTとNdFeB薄膜の個々のパターニングも将来のバッチ製作のために調べた。バッチ製作試験では,PZT/Siカンチレバーの電気特性および圧電特性はNdFeB成膜プロセスの無いものに匹敵する。良好な磁気特性も観測された。これらの結果により,NdFeBとPZTの微細加工プロセスがバッチ製造レベルで集積化できることを実証する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 発電 ,  *振動エネルギー ,  *MEMS ,  圧電材料 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  ネオジム化合物 ,  鉄化合物 ,  ホウ素化合物 ,  電気機械 ,  *強磁性体 ,  集積 ,  ストロンチウム化合物 ,  酸化ルテニウム ,  薄膜 ,  微細加工
準シソーラス用語： *MEMSエナジーハーベスタ ,  MEMS発電 ,  PZT【鉛化合物】 ,  *ヘテロ集積 ,  *圧電MEMS ,  圧電薄膜

著者キーワード (8件)： 圧電MEMS ,  PZT ,  NdFeB ,  ヘテロ集積 ,  PiezoMEMS ,  PZT ,  NdFeB ,  Hetero integration

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の発電  (NB03140M)

引用文献 (16件)：

• (1) S. P. Beeby, M. J. Tudor, and N. M. White : “Energy harvesting vibration sources for microsystems applications”, Meas. Sci. Tech., Vol. 17, pp. R175-195 (2006)
• (2) S. Roundy and P. K. Wright : “A piezoelectric vibration based generator for wireless electronics”, Smart Mat. Struct., Vol. 13, pp. 1131-1142 (2004)
• (3) I. Kanno : “Piezoelectric MEMS for energy harvesting”, J. Phys.: Conf. Ser., Vol. 660, 012001 (2015)
• (4) K. Kanda, S. Hirai, T. Fujita, and K. Maenaka : “Piezoelectric MEMS with Multilayered Pb(Zr,Ti)O₃ Thin films for Energy Harvesting”, Sens. Actuators A-Phys., Vol. 281, pp. 229-235 (2018)
• (5) H. Toshiyoshi, S. Ju, H. Honma, C-H. Ji, and H. Fujita : “MEMS vibrational energy harvesters”, Sci. Technol. Adv. Mater., Vol. 20, pp. 124-143 (2019)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMS ,  強磁性 ,  NdFeB ,  圧電 ,  PZT ,  テロ ,  集積