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J-GLOBAL ID:202202226190751221   整理番号:22A0554123

金属材料の清浄度検査のためのLorentz力粒子アナライザに基づく微小力測定システム【JST・京大機械翻訳】

A Micro-Force Measurement System Based on Lorentz Force Particle Analyzer for the Cleanliness Inspection of Metal Materials
著者 (4件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 143-149  発行年: 2022年 
JST資料番号: W0357A  ISSN: 1057-7157  CODEN: JMIYET  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,Lorentz力粒子分析器(LFPA)原理に基づくMEMSマイクロ力測定システムを,金属材料の表面または表面近傍の微小欠陥の検査のために開発した。このシステムは,主に小型永久磁石,容量MEMSセンサおよび界面回路から成る。3つの部分は最初に欠陥を力パルスに変換し,次に容量分散と最終的に電圧出力を変換する。実験結果は,このセンサ系が,Δλ≦0.2≦μNまでの分解能で,Δλ≦10>μNまでの力を測定することができ,サイズ0.5≦λ≦2mmの欠陥に対応することを示した。得られたパルス信号の振幅は欠陥体積の拡大と共に増加し,実際のパルス波形はシミュレートしたパルス波形と一致した。それは,MEMSセンサが,固体金属の表面または表面近傍の微小欠陥を検査するためのLFPAのロードセルであることを実証する。このシステムは金属シートや箔の清浄度検査に適用されることが期待される。[2021-111]。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス材料  ,  固体デバイス製造技術一般 

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