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J-GLOBAL ID：202202226327323497   整理番号：22A0681198

酸化インジウム材料の揮発性前駆体としてのインジウムトリスジピバロイルメタナートの熱特性【JST・京大機械翻訳】

Thermal properties of indium tris-dipivaloylmethanate as a volatile precursor for indium oxide materials

著者 (8件)： Vikulova Evgeniia S. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Turgambaeva Asiya E. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Rogov Vladimir A. (Novosibirsk State University, Pirogova Street 2, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Nazarova Anna A. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Zherikova Kseniya V. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Korolkov Ilya V. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Morozova Natalia B. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia) ,  Zelenina Ludmila N. (Nikolaev Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch of Russian Academy of Sciences, Acad. Lavrentiev Ave 3, 630090, Novosibirsk, Russia)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 197  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 揮発性金属-有機前駆体に対する凝縮及び気相変換及び温度安定性範囲,融解,昇華及び蒸発プロセスを含む熱物理及び熱化学データは,化学蒸着,原子層堆積及びそれらの修飾による機能性ナノ材料の調製を最適化するために重要である。ここでは,広く要求される酸化インジウムセラミックのための便利な空気安定性前駆体である,インジウムトリス-ジピバロイルメタン酸塩,In(thd)_3またはIn(dpm)_3の包括的な熱的キャラクタリゼーションの結果を提示した。熱重量分析を適用して不活性および酸化雰囲気中での凝縮相安定性を評価した。融点とエンタルピーを示差走査熱量測定で測定した。飽和および不飽和In(thd)_3蒸気の圧力を,ガラス膜-ゲージマノメータによる静的方法を用いて測定した。固体および液体錯体上の飽和蒸気のp(T)方程式を得て,研究中のプロセスの熱力学的特性を計算した。真空中及び酸素存在下での加熱表面上のIn(thd)_3蒸気の熱分解をその場質量分析により調べた。このプロセスの温度範囲とその分子内特性を明らかにした。In(thd)_3の熱特性に関する文献データの批判的レビューも行った。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エンタルピー ,  凝縮 ,  最適化 ,  蒸発 ,  セラミック ,  熱分解 ,  *インジウム ,  酸素 ,  熱重量分析 ,  融点 ,  *酸化インジウム ,  *熱特性 ,  *前駆体 ,  示差走査熱量測定 ,  ナノ材料

著者キーワード (5件)： インジウム揮発性前駆体 ,  ジケトナート ,  融解と蒸発過程 ,  熱分解 ,  MOCVD

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸化インジウム ,  揮発性 ,  前駆体 ,  熱特性