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J-GLOBAL ID：202202226375774099   整理番号：22A1146651

光が創造するマテリアルの新価値~先端レーザープロセッシング~ガラスのレーザー精密ナノ加工

Laser nanoprocessing on glass

著者 (1件)： 宮地悟代 (東京農工大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 484  ページ： 144-147  発行年： 2022年04月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・フェムト秒レーザによるナノ周期構造の形成メカニズムとガラス表面への形成過程について紹介。
・この現象の物理メカニズムは,レーザ照射による表面改質,高密度電子の生成と近接場によるナノアブレーション,表面プラズモン・ポラリトンによる周期性の発現,抑制された熱的効果。
・フェムト秒レーザ照射によってガラス中に高密度電子が生成できれば,それに続く表面プラズモン・ポラリトンと近接場によるナノアブレーションによって周期構造を形成することが可能。
・非線形光吸収係数が大きい亜酸化ケイ素(SiO_x,x≒1)薄膜を用いて直線性の良い周期構造を形成。

シソーラス用語： *フェムト秒レーザ ,  *周期構造 ,  ナノ構造 ,  *ガラス ,  表面改質 ,  近接場 ,  アブレーション ,  表面プラズモン ,  ポラリトン ,  光吸収 ,  吸収係数

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 創造 ,  価値 ,  レーザー ,  プロセッシング ,  ガラス ,  ナノ加工