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J-GLOBAL ID：202202226690063037   整理番号：22A0359548

チタン・チタン合金のスパッタエッチングによる微細孔および微細突起物の形成

Formation of Fine Holes and Protrusions on Titanium and its Alloys by Sputter Etching

著者 (1件)： 中佐啓治郎 (広島国際学院大 ハイテク・リサーチ・セ)
資料名： チタン  (Titanium Japan)
巻： 70  号： 1  ページ： 24-29  発行年： 2022年01月28日 
JST資料番号： G0043A  ISSN： 1341-1713  CODEN： CHITF5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 鋭い突起物,マイクロドットや微細孔などの微細な表面テクスチャの作製は,材料の新しい表面機能を開発するための重要な技術である。本レビューでは,チタンとその合金のアルゴンイオンスパッタエッチングによって形成された種々な表面テクスチャを紹介した。試験片を高周波マグネトロンスパッタ装置の陰極ディスク上に置き,200~300Wのスパッタパワーで0.9~7.2ksでエッチングを行った。試料の化学組成と微細構造,陰極ディスクの種類,スパッタパワーと時間に応じて,直径500nm未満の微細な穴と,底部サイズが500nm~5μmの円錐形の突起が形成された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *チタン ,  *チタン合金 ,  *イオンエッチング ,  穴 ,  突起部 ,  現象 ,  *表面構造 ,  表面処理 ,  電極材料 ,  化学組成
準シソーラス用語： イオン照射誘起現象 ,  スパッタエッチング ,  形成機構 ,  出力依存性 ,  微細孔 ,  微細突起物 ,  *表面テクスチャー

分類 (2件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  金属の表面構造  (BK15020P)

引用文献 (21件)：

• O. Auciello and R. Kelly (Eds), Ion Bombardment Modification of Surface, Fundamentals and Applications, (Elsevier, Amsterdam, The Netherlands, 1984).
• G. Carter, B. Navinšek and J. L. Whitton, Heavy ion sputtering induced surface topography development, Sputtering by Particle Bombardment II, Topics in Applied Physics, Vol. 52, ed. by R. Behrisch, (Springer-Verlag, Berlin, Germany, 1983) pp. 231-269.
• W. Hauffe, Production of microstructures by ion beam sputtering, Sputtering by Particle Bombardment III, Topics in Applied Physics, Vol. 64, ed. by R. Behrisch and K. Wittmaack, (Springer-Verlag, Berlin, Germany, 1991) pp. 305-338.
• G. K. Wehner and D. J. Hajicek, J. Appl. Phy. 42 (1971) 1145-1149.
• W. R. Hudson, J. Vac. Sci. Technol. 14 (1977) 286-289.

タイトルに関連する用語 (4件)： チタン ,  チタン合金 ,  スパッタエッチング ,  微細孔