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J-GLOBAL ID：202202226885028457   整理番号：22A0427803

望ましい特性を持つ透明導電性酸化物の合成に対する技術的モードの選択のための方法論【JST・京大機械翻訳】

Methodology for the Selection of Technological Modes for the Synthesis of Transparent Conducting Oxides with Desired Properties

著者 (6件)： Zinchenko Timur O. (Penza State University, Department ≪Information-Measuring Equipment and Metrology≫ Penza Russian Federation 40, Krasnaya str.) ,  Pecherskaya Ekaterina A. (Penza State University, Department ≪Information-Measuring Equipment and Metrology≫ Penza Russian Federation 40, Krasnaya str.) ,  Antipenko Vladimir V. (Penza State University, Department ≪Information-Measuring Equipment and Metrology≫ Penza Russian Federation 40, Krasnaya str.) ,  Volik Artem V. (Penza State University, Department ≪Information-Measuring Equipment and Metrology≫ Penza Russian Federation 40, Krasnaya str.) ,  Varenik Yuriy A. (Penza State University, Polytechnic Institute Penza Russian Federation) ,  Shepeleva Anastasiya E. (Penza State University, Polytechnic Institute Penza Russian Federation)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 1049  ページ： 198-203  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明導電性酸化物(TCO)は光および半導体エレクトロニクスの様々な分野で透明電極として広く使用されている。今日使用されている主な材料は,酸化インジウムスズ,スズ-アンチモン酸化物および亜鉛-酸化アルミニウムである。著者らは,生産における実用化の最も有望な方法の1つであるスプレー熱分解法を開発して改良した。本研究では,TCOパラメータに及ぼす堆積の技術的モードの影響を考慮して,アンチモン被覆でドープした二酸化スズの研究およびTCOの制御合成のための方法論の開発を研究した。実施した研究の結果は,望ましい特性を有する透明導電性酸化物の合成のための自動化技術の開発に寄与する。Copyright 2022 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 半導体 ,  自動化 ,  *アンチモン ,  被覆 ,  酸化アルミニウム ,  ドーピング ,  酸化アンチモン ,  電子技術 ,  透明電極 ,  酸化インジウムスズ
準シソーラス用語： スプレー熱分解 ,  *透明導電性酸化物 ,  二酸化スズ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 透明電極 ,  透明導電性酸化物 ,  技術プロセス ,  グラフモデル ,  パラメータ相互接続モデル ,  アンチモンをドープした二酸化すず

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (2件)： 透明導電性酸化物 ,  方法論