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J-GLOBAL ID：202202227901996593   整理番号：22A0685247

スーパーキャパシタ用の電極材料としてのスパッタ窒化ジルコニウム薄膜の構造と耐食性【JST・京大機械翻訳】

Structural and corrosion resistance properties of sputtered zirconium nitride thin films as electrode material for supercapacitor

著者 (6件)： Zhang Shangtao (College of Materials and Chemistry & Chemical Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, People’s Republic of China) ,  Wang Jian (College of Materials and Chemistry & Chemical Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, People’s Republic of China) ,  Wu Rong (College of Materials and Chemistry & Chemical Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, People’s Republic of China) ,  Liu Lang (College of Materials and Chemistry & Chemical Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, People’s Republic of China) ,  Pan Boting (College of Materials and Chemistry & Chemical Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, People’s Republic of China) ,  Liu Chunhai (College of Materials and Chemistry & Chemical Engineering, Chengdu University of Technology, Chengdu 610059, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 900  ページ： Null  発行年： 2022年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,マグネトロンスパッタ窒化ジルコニウム(ZrN)薄膜の表面形態,結晶構造および耐食性を評価し,調査した。その結果,調製した膜の表面は均一で緻密であり,二乗平均平方根表面粗さ(R_q)は,それぞれ21.0nm(ZrN_0.45),1.8nm(ZrN_0.4)および2.0nm(ZrN_0.35)であった。窒素分圧の増加とともに,ZrN膜中のZr_3N_4の含有量は徐々に増加した。動電位分極と電気化学インピーダンス分光法(EIS)測定は,すべての試料がZrN被覆304SSの腐食性能を強化することを示した。ZrN_0.4は0.5MのNa_2SO_4溶液中で最良の耐食性を有し,50時間の浸漬後に完全で緻密な表面形態を維持した。基本的な関連する腐食機構を調べ,議論し,304SS上のZrN_0.4膜の優れた耐食性は,ピン穴欠陥のより低い密度およびZrO_2の緻密な不動態層に起因した。Copyright 2022 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 結晶構造 ,  *薄膜 ,  表面構造 ,  腐食 ,  窒素 ,  被覆 ,  *耐食性 ,  腐食機構 ,  不動態 ,  *窒化物 ,  電気化学的分極 ,  *電極材料 ,  *ジルコニウム化合物 ,  分圧 ,  モルフォロジー
準シソーラス用語： 表面形態 ,  *スーパーキャパシタ ,  *窒化ジルコニウム ,  動電位分極 ,  電気化学インピーダンス分光法 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 窒化ジルコニウム ,  マグネトロンスパッタリング ,  薄膜 ,  耐食性 ,  Na_2SO_4水溶液

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  化成処理  (WC08050J) ,  腐食  (WB03030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： スーパーキャパシタ ,  電極材料 ,  スパッタ ,  窒化ジルコニウム ,  薄膜 ,  耐食性