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J-GLOBAL ID：202202228077603700   整理番号：22A0284953

2種類の圧電材を積層した弾性表面波デバイスの周波数特性

Frequency properties of surface acoustic wave devices with bi-layered piezoelectric thin films

著者 (4件)： 力丸真也 (九州工大) ,  北村奏人 (九州工大) ,  村上直 (九州工大) ,  伊藤高廣 (九州工大)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 36th  ページ： ROMBUNNO.20pm3-PS3-70  発行年： 2019年11月12日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *弾性表面波素子 ,  薄膜 ,  石英 ,  窒化アルミニウム ,  *積層構造 ,  *周波数特性 ,  信号変換器 ,  水晶
準シソーラス用語： 圧電薄膜 ,  交差指形変換器

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電材 ,  弾性表面波デバイス ,  周波数特性