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J-GLOBAL ID：202202228433209220   整理番号：22A0788449

機械的増幅ピエゾ抵抗読み出しによる小型ロバスト高帯域幅力センサ【JST・京大機械翻訳】

Miniature Robust High-Bandwidth Force Sensor with Mechanically Amplified Piezoresistive Readout

著者 (7件)： Alveringh Dennis (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS) ,  Van Der Ven Diana L. (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS) ,  Veltkamp Henk-Willem (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS) ,  Batenburg Kevin M. (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS) ,  Sanders Remco G. P. (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS) ,  Rivas David Fernandez (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS) ,  Wiegerink Remco J. (University of Twente,MESA+ Institute,Enschede,THE NETHERLANDS)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2022  号： MEMS  ページ： 684-687  発行年： 2022年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高速で正確な力測定に対して,例えば液滴の影響のサンプリング,高感度高帯域幅力センサが必要とされる。高感度および高帯域幅は,最近発表された力センサにおいて矛盾する仕様である。本論文で提案したミニチュア力センサは,この矛盾を克服する面内センシング,機械的増幅,およびピエゾ抵抗読出しの新しい組み合わせを使用する。直線フォワード製造プロセスは,3つのフォトマスクから成り,単一SOIウエハを使用する。このセンサは,13mNの証明範囲,1.46N-1の感度,および75kHzの帯域幅を有した。これは,このような大きな帯域幅を有するこの力範囲での最初の力センサであり,高いサンプリング速度と低い範囲が重要である力センシングの新しい分野を開く可能性がある。Copyright 2022 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 液滴 ,  フォトマスク ,  *帯域幅 ,  センサ ,  高感度 ,  生産工程 ,  *ロバスト性
準シソーラス用語： *圧電抵抗 ,  サンプリング速度 ,  力センサ ,  力測定 ,  *読出し , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 増幅 ,  ピエゾ抵抗 ,  読み出し ,  ロバスト ,  高帯域幅 ,  力センサ