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J-GLOBAL ID：202202228609465307   整理番号：22A0640045

単一周波数容量結合プラズマのためのインピーダンス整合ネットワークの自己無撞着シミュレーション【JST・京大機械翻訳】

Self-consistent simulation of the impedance matching network for single frequency capacitively coupled plasma

著者 (9件)： Gao Jiamao (International Joint Research Laboratory of Magnetic Confinement Fusion and Plasma Physics, State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, School of Electrical and Electronic Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Re...) ,  Yu Shimin (International Joint Research Laboratory of Magnetic Confinement Fusion and Plasma Physics, State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, School of Electrical and Electronic Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Re...) ,  Wu Hao (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Republic of China) ,  Wang Yu (Department of Physics, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, People’s Republic of China) ,  Wang Zhijiang (International Joint Research Laboratory of Magnetic Confinement Fusion and Plasma Physics, State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, School of Electrical and Electronic Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Re...) ,  Pan Yuan (International Joint Research Laboratory of Magnetic Confinement Fusion and Plasma Physics, State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, School of Electrical and Electronic Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Re...) ,  Jiang Wei (International Joint Research Laboratory of Magnetic Confinement Fusion and Plasma Physics, State Key Laboratory of Advanced Electromagnetic Engineering and Technology, School of Electrical and Electronic Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Re...) ,  Jiang Wei (School of Physics, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, People’s Republic of China) ,  Zhang Ya (Department of Physics, Wuhan University of Technology, Wuhan 430070, People’s Republic of China)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 55  号： 16  ページ： 165201 (10pp)  発行年： 2022年 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 整合ネットワークは,プラズマ放電に伝達される電力を最大化するために,容量結合プラズマ(CCP)にとって極めて重要である。外部回路とプラズマの間の非線形相互作用は,適切な整合ネットワークを設計するために考慮されなければならない。整合回路の効果を研究するために,完全非線形および自己無撞着方法で,Kirchhoffの法則に基づくセル/MC(モンテカルロ)モデルと非線形回路方程式における粒子を結合した。ΔΣL’型整合ネットワークによる単一周波数容量結合放電をシミュレーションした。回路とプラズマパラメータの完全な自己無撞着結果を示し,次にプラズマと効率によって吸収される電力を計算した。整合ネットワークの調整によって,効率は28.7%に達することができ,固定電源電圧でより高い電位とより高い電子密度をもたらす。さらに,プラズマ電圧と電流には3次高調波の非常に小さな成分しか見出されず,一方,表面電荷密度は,強いプラズマ非線形性を考慮して多重高調波を持つ。最後に,放電に及ぼす整合コンデンサの効果を解析し,結果は,より小さいと500~1000pFが,より良い整合のための適切な選択であり,その結果,CCPを通してより高い電圧をもたらし,その結果,より高い電子密度と電力吸収効率が得られることを示す。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モンテカルロ法 ,  コンデンサ ,  *プラズマ ,  *シミュレーション ,  電圧 ,  電位 ,  電子密度 ,  電流 ,  放電 ,  電力 ,  *ネットワーク ,  高調波 ,  多重化 ,  整合器 ,  *インピーダンス整合

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 単一周波数 ,  容量結合プラズマ ,  インピーダンス整合 ,  自己 ,  無撞着 ,  シミュレーション