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J-GLOBAL ID:202202228758679082   整理番号:22A0971096

電気特性を改善するためのFET周辺の新しい歯接合レスゲート【JST・京大機械翻訳】

A Novel Teeth Junction Less Gate All Around FET for Improving Electrical Characteristics
著者 (6件):
資料名:
巻: 14  号:ページ: 1979-1984  発行年: 2022年 
JST資料番号: W4947A  ISSN: 1876-9918  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,より微細な電気特性を得るために,ゲートエンジニアリング法に基づく新しい”Teeth Junctionless Gate Alound Field Areaction Transistor”(TH-JLGAA FET)を提案した。3nm TH-JLGAA FETを設計し,デバイス性能に及ぼすスケーリングの影響を観察するために14nmまでスケールアップした。特性を明らかにし,現代のJLGAAFETと比較した。その結果,新しいTH-JLGAA FETは,より微細なサブ閾値Sloope(SS),Drain誘起障壁低下(DIBL),相互コンダクタンス(g_m),I_on/I_off電流比および閾値電圧ロールオフを有することが分かった。さらに,これらの顕著な特性はゲートの構造と体積をエンジニアリングすることによって制御できる。さらに,構造パラメータに関する新規TH-JLGAAFETデバイスの感度を調べた。Copyright Springer Nature B.V. 2021 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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